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消耗品的更换 >> 真空泵内叶片 和轴承 6-10 MEC-CP-842-1.0S 6.7 真空泵内叶片和轴承 要 点 真空泵的叶片由 6 片叶片组成， 在叶片破损时， 真空泵会发出异常声音， 使得真空度降低 。 在更换叶片时请同时更换轴承。 方 法 拆开步骤 1 取出真空泵，取出的方法顺序请参 照 （本章 6.5 真空泵用皮带的交换） 。 2 把管道从托架上拆下来。 警 告 作业前请切断主电源。 真空泵运转后会产生高温， …
消耗品的更换 >> 真空泵用皮带
MEC-CP-842-1.0S 6-9
3 打开皮带防护罩。
4 取下马达皮带轮，更换皮带。
5 确认已更换完毕的皮带的张力，如果张力值不在规定范围内时，以 0.1mm 程度渐渐
地偏移马达，调整 L 的尺寸。
消耗品的更换 >> 真空泵内叶片和轴承
6-10 MEC-CP-842-1.0S
6.7 真空泵内叶片和轴承
要 点
真空泵的叶片由 6 片叶片组成，在叶片破损时，真空泵会发出异常声音，使得真空度降低。
在更换叶片时请同时更换轴承。
方 法
拆开步骤
1 取出真空泵，取出的方法顺序请参照 （本章 6.5 真空泵用皮带的交换）。
2 把管道从托架上拆下来。
警 告
作业前请切断主电源。
真空泵运转后会产生高温，请等到真空泵充分冷却后再进行作业。
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MEC-CP-842-1.0S 6-11
3 请打开皮带的防护罩。
4 取出转盘及转盘风扇，将真空泵本体从台座上取出。
注意 ) 由于以下的原因，请不要将空气过滤器从真空泵上拆下来。
1. 有可能导致与真空泵相连的配管或者过滤器的外壳破损。
2. 有可能导致配管内的切屑及尘埃进入真空泵。
5 将消音器和逆向制动阀从真空泵上取下。