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第 2 部 功能详解篇 第 13 章 选项组件 13 - 66 13 - 10 输 出生 产 管理数 据 13 - 10 - 1 概要 每 1 片基板生产 均对生产 管理 信息数据 进行文本输出 。 13 - 10 - 2 机器设置 本功能可在机器 设置 中设置使用/ 未使用。 从机器 设置 画面选择 「 设置组 」> 「 使 用 单元 」>「 标准功 能」 ,即显示以下 对话框 。 请在此 对话框中,将 「生产 管理数据输出功能 」设…

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2 功能详解篇 13 选项组件
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下面的画面是详细信息对话框。请选择[内容]VCS识别、[详细]正常以外的Head
要在监视器上显示图像时,请选[显示图像]。所选择 Head 画面则可显示到监视器上
如果选择[保存文件],则把图像保存到 SSD
(注)执行[取得错误图像数据]后,就不能显示以后的错误图像了。
因此,按了[取得错误图像数据]钮之后,会显示如下对话框。如果不需要显示错误图像,请按[]
过去 5 次的错误图像信息会被保存到 SSD
元件种类为插入元件(使用 DFFP VCS)时, 1 个循环的错误图像信息保存至 SSD 中。
如果还想显示错误图像时,请按[]
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13-10 出生管理数
13-10-1 概要
1片基板生产均对生产管理信息数据进行文本输出
13-10-2 机器设置
本功能可在机器设置中设置使用/未使用。从机器设置画面选择设置组」>使单元」>「标准功
能」,即显示以下对话框请在此对话框中,将「生产管理数据输出功能」设定为有效。
数据的保存位置可在机器设置中设定。(默认为D:\Production」)
从机器设置的画面中,选择设置组」>「设置生产管理数据输出文件夹」,即显示以下对话框设置
画面。如果「生产管理数据输出功能」为未使用,则无法设定生产管理数据输出文件夹
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13-10-3 生产管理数据文件
每生产1片基板即在上述设定的输出文件夹中创建与生产程序同名的文件夹并保存文件
1. 文件名
YYYYMMDDhhmmss.CVS
YYYY :年
MM :月
DD :日
hh :时
mm :分
ss :秒
2. 格式
CVS 格式(逗号间隔)输出文件。
3. 输出示例