JM-20使用说明书.pdf - 第360页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 44 ● 密封 圈 的更换 1 ） 取 下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓 (M5×20) 。 2 ） 取下泵头护罩内测的黑色 密封 圈 ， 共 2 个，更换上新的 密封圈。 ※确认密封圈完 全放入泵头护罩 的密封垫圈槽 内，请注意泵头 护罩和泵头盘 间不要相互咬合 。 3 ） 请将固定泵头护罩用的内 六角螺栓 (M5× 20) 用 5.0N ・ m 对角 拧紧。 （在更换其…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-43
3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线、接地线），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的③内六角螺栓（M4×8)。
4）将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※
取出
真空泵时，有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。
VAC_PUMP_PLATE
内六角螺栓×4
电源、接地线
连接管
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-44
●
密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1
） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O 环 S-67
泵头盘
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-45
2） 将碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，换上新的 O 环。
※请按照密封圈的更换顺序,安装护罩。更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
●更
换 O 环 P-10
1
） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头护罩之间的连接管。事先，请确认 O 环上涂有真空黄油。
3） 更换中，请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。（1 根管内有 2 个）
※护罩的安装，请按照密封圈的更换顺序进行。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各
部位的更换步骤操作。
O 环 S-67
碗形密封气缸
O 环 P-10 连接管