JM-20使用说明书.pdf - 第331页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 15 1) 请把下图的 各种传送传感 器的发光面、受 光面附着的灰尘 和垃圾清除干 净。 如果去不掉脏污 ，请沾少量的酒 精（ I PA ）进 行清扫。 < L 、 XL 基板规格 > 清扫部位 3-3- 3 各种传送传感器 实施频度 ： 每月 清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA IN,OUT 传感器 WAIT,STOP,C ・ OUT 传感器
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-14
1）用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分的灰尘、异物。
清扫部位
3-3-2 X 轴 CB 支撑
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容
清扫灰尘、异物
使用工具
：抹布
CB 支撑部分
X 轴电缆套（Cableveyor）
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
< L、XL 基板规格>
清扫部位
3-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容
清扫传感器视窗
使用工具：抹布
推荐溶剂
：
IPA
IN,OUT 传感器
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-16
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
3-3-4 CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容
清扫
CAL
块
使用工具：抹布
推荐溶剂
：
IPA
①
②