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第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息 10 - 26 ( 2 ) [ 重新设 置 ] 按钮 点击 [ 重新设置 ] 按钮,或点击下拉 菜单中的 [ 数据 (D )] -[ 重新设置 ] 后,显示如下画面 。 可清除一览中的 特定内容或所有 内容。 ・ 按 [ 全部选择 ] 按钮 ,可选择所 有的复选框。 ・ 点击需要重 新设置的项目 复选框, 按 [ 确定 ] 按钮后, 可显示 “ 询问信息 ”画面, 点击 [ 确定 ] …

第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
10-25
10-4-8 轴运行信息
从下拉菜单中点击[窗口(W)]-[轴运行信息],或从命令按钮中点击[轴运行信息]后,可显示轴运行信息画
面。
(1) 轴运行信息
No.
项目
内容
1
X
轴总移动距离
X
轴的移动距离累计。
2
Y
轴总移动距离
Y
轴的移动距离累计。
3
Z
轴总移动距离
Z
轴
(Head1
~
6)
移动距离累计。
4
θ
轴总移动距离(旋转)
θ
轴
(Head1
~
6)
移动距离累计。
5
支撑台轴总移动距离
支撑台轴移动距离累计。
6
AWC
轴总移动距离
基板宽度自动调整轴(
IN
/
OUT
)移动距离累计。
7
补充润滑油后移动距离
补充润滑油后的
X
轴、
Y
轴的移动距离累计。
超过设定移动距离,则显示出警告。(下图)
参照 3-4-2 章 XY 轴滚珠丝杠,实施加油。
按下润滑油补充,则
X
轴、
Y
轴都变为「
0.000km」

第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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(2)[重新设置]按钮
点击[重新设置]按钮,或点击下拉菜单中的[数据(D)]-[重新设置]后,显示如下画面。
可清除一览中的特定内容或所有内容。
・ 按[全部选择]按钮,可选择所有的复选框。
・ 点击需要重新设置的项目复选框,按[确定]按钮后,可显示“询问信息”画面,点击[确定]
后,对象项目都将被重新设置,并关闭画面。
・ 点击[取消]按钮,则数据不被重新设置,画面仍显示原来的数据。

第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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10-4-9 传送运行信息
从下拉菜单中点击[窗口(W)]-[传送运行信息],或从命令按钮中点击[传送运行信息]后,可显示“传送运行
信息”画面。
(1) 传送
No.
项目
内容
1
通过基板总数
通过的基板张数累计。
2
入口马达驱动次数
搬入马达驱动次数的累计。
3
入口马达驱动时间
搬入马达驱动时间的累计。
4
中心马达驱动次数
中心马达驱动次数的累计。
5
中心马达驱动时间
中心马达驱动时间的累计。
6
出口马达驱动次数
出口马达驱动次数的累计。
7
出口马达驱动时间
出口马达驱动时间的累计。
8
传送错误次数
传送错误次数的累计。
9
等待基板搬入时间
从基板可搬入状态到下一块基板被夹紧的时间累计。
10
等待基板搬出时间
基板传送动作开始到结束的时间累计。
11
等待基板传送时间
从被夹紧的基板被释放,到进入出口缓冲置于缓冲状态
的时间累计(只限搬出的动作不计在该时间内。)
12
支撑台驱动次数
支撑台驱动次数的累计。
13
停止挡销驱动次数
停止挡销驱动次数的累计。
14
自动调整基板宽度驱动次数
自动调整基板宽度驱动次数的累计。
15
挡块驱动次数(安全规格) 挡块驱动次数的累计。(只限 CE 机型)