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第 2 部 功能详 解篇 第 9 章 手动 控制 9- 26 9-5- 1 - 1 控制对象：基板传送 按下 [ 基板传送 ] 按钮 ，会显示如下 画面。 (1) 状态 显示传送马达 / 传感器的 ON 、 OFF 状态。 (2) 控制项目 点击 [ 执行 (E )] 按钮，或按下 [F3] 键后，开始执行 控制处理。 1) 初始化 将基板传送进行初 始化。 2) 基板搬入 按定位方式指定的 方式搬入基板。 3) 基板搬出 搬出基板。 …
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-25
其他传感器的显示列表如下。
No.
显示项目
显示图
表示内容
1 支撑台挡块(CE 机)
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2 支撑台原点传感器
支撑台处于 OFF 状态。
支撑台处于 ON 状态。
3 传送挡块干涉传感器
传送挡块干涉传感器处于 OFF 状态。
传送挡块干涉传感器处于 ON 状态。
4
准备输入（
Ready In
）
准备输出（
Ready Out ）
准备输入（
Ready In
）处于
OFF
状态。
准备输出（
Ready Out
）处于
ON
状态。
5
能搬入基板
（Board Available In）
能搬出基板
（
Board Available Out
）
Board Available In·OUT 处于 OFF 状态。
Board Available In·OUT 处于 ON 状态。
6
停止挡销
停止挡销处于 OFF 状态。
停止挡销处于 ON 状态。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-5-1-1 控制对象：基板传送
按下[基板传送]按钮，会显示如下画面。
(1) 状态
显示传送马达/传感器的 ON、OFF 状态。
(2) 控制项目
点击[执行(E)]按钮，或按下[F3]键后，开始执行控制处理。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
按定位方式指定的方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
用在定位方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
6)基板 HMS 夹紧
通过 HMS 检测出在传送通道上的基板进行夹紧。
在 L 基板规格中，长方向基板选项为无效时不显示。
(3) 定位方式
通过单选按钮选择定位方式。
控制项目中的「初始化
」、「基板搬出」、「基板固定解除」被选中时，将无法设置此项。
(4) 执行
开始控制。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-5-1-2 控制对象：自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮，会显示如下画面。
(1) 状态
显示各传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 控制项目
点击[执行(E)]按钮，或按下[F3]键后，开始执行控制处理。
1)返回原点
自动调整基板宽度恢复原点。
2)变更幅度
变更传送宽度。
(3) 执行
开始控制。