JM-20使用说明书.pdf - 第322页

第 1 部基本篇第 3 章维护 3-6 1 ）在压力表上确认压力为 – 87k Pa 以上。确认供给真空压力时，点击画面左下角（蓝框）区域就可以显示当前真空压力。 2) 负压表降低到 - 87kPa 时，需要更换消耗零件。请按照「 3-8-1 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。检查项目 3-2- 2 真空泵压力实施频度：每天检查内容确认真空压力单击可进行显示 / 不显示切换。

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-5

更换间隔：每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa（1kgf／C㎡）时。

更换方法

1）请关闭指状阀的旋钮。

2）一边降下滑动部分，一边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。

3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆

下，拆卸过滤器零件A。

4）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。

注意

在开始作业前，请关闭指状阀的旋钮。

检查･更换

更换过滤器零件

更换标准： 2 年

打开状态

关闭状态

过滤器零件 A

PF901010000

过滤器零件 B

PF901006000

树脂零件

滑动部

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-6

1）在压力表上确认压力为 –87kPa 以上。

确认供给真空压力时，点击画面左下角（蓝框）区域就可以显示当前真空压力。

2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。

请按照「3-8-1 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。

检查项目

3-2-2 真空泵压力

实施频度：每天

检查内容

确认真空压力

单击可进行显示/不显示切换。

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-7

1) 请确认没有漏气

1）主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。

① 基板挡块部

② 夹杆 Y

③ ATC 单元

手动控制「使用说明书第 9 章手动控制」

在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。

2）如果动作有问题，请参考「3-9 章管道系统图」进行检查。

检查项目

3-2-3 管道及接头

实施频度：每周

检查内容

检查气压管道部分是否漏气

检查项目

3-2-4 各单元气缸

实施频度：每周

检查内容

检查各气缸的动作

检查漏气

＜左侧前侧＞

指状阀

在功能栏上选择「手动控制」

启动手动控制