JM-20使用说明书.pdf - 第855页

第 2 部 功能详 解篇 第 9 章 手动 控制 9-4 9- 3 快捷键 各画面的控制项目, 分配快捷键如下。 按下快捷键,可将光 标直接移动到控制 项目进行操作 。 主菜单 子菜单 控制 快捷键 1 Head 1 Head 控制 XY 移动 [AL T] + [M] Z 轴移动 [AL T] + [V] θ 轴移动 [AL T] + [H] 真空控制 [AL T] + [A] 吹气控制 [AL T] + [B] 移动到( X )坐标…

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2 功能详解篇 9 手动控制
9-3
点击[显示构成]、或选择菜单栏的「显示」「显示构成图」,即可返回到初始画面(构成图)
9-2-2 退出手动控制
依次点击菜单栏中的[文件]-[退出]或按下画面右上方的关闭按钮×或按下工具栏中的退出按钮,
可退出手动控制。
「确定」:执行I/O安全方向设置后退出。例如,Head带有吸嘴时,将吸嘴放回ATC后,再退出
手动控制画面。
「取消」:返回手动控制画面。
选择「确定后,轴会移动并开始执行各 I/O 的安全方向设置。
在选择「确定
前,请务必确认无人在进行装置内部的作业。此外,为了
避免人身伤害,在运行过程中,切勿将手放入装置内部,也不要将脸和头
靠近装置。
警告
2 功能详解篇 9 手动控制
9-4
9-3 快捷键
各画面的控制项目,分配快捷键如下。
按下快捷键,可将光标直接移动到控制项目进行操作
主菜单 子菜单 控制 快捷键
Head
1
Head
控制
XY
移动
[ALT] + [M]
Z
轴移动
[ALT] + [V]
θ
轴移动
[ALT] + [H]
真空控制
[ALT] + [A]
吹气控制
[ALT] + [B]
移动到(
X
)坐标
[ALT] + [X]
移动到(
Y
)坐标
[ALT] + [Y]
移动到(
Z
)坐标
[ALT] + [Z]
移动到(
θ
)坐标
[ALT] + [T]
执行
[ALT] + [E]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]
2
Head
设备控制
XY
移动
[ALT] + [M]
垂直照明控制
[ALT] + [V]
角度照明控制
[ALT] + [ I ]
外圈照明控制
[ALT] + [U]
极性控制
[ALT] + [R]
传感器控制
[ALT] + [T]
计测
[ALT] + [A]
移动到(
X
)坐标
[ALT] + [X]
移动到(
Y
)坐标
[ALT] + [Y]
执行
[ALT] + [E]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON
(正)
/OFF
(反)
[ALT] + [/]
3
激光控制
真空控制
[ALT] + [A]
Z
轴调整
[ALT] + [Z]
Z
轴微调
[ALT] + [J]
计测(
ONCE
[ALT] + [N]
计测(
SWEEP
[ALT] + [S]
变幻线
[ALT] + [T]
图像表示
[ALT] + [Y]
元件形状
[ALT] + [C]
元件角度
[ALT] + [L]
窗口类型同时元件计测)
[ALT] + [M]
窗口类型
单独元件计测)
[ALT] + [G]
执行
[ALT] + [E]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]
[ALT] + [U]
[ALT] + [D]
/
[ALT] + [/]
LA
[ALT] + [R]
2 功能详解篇 9 手动控制
9-5
主菜单 子菜单 控制 快捷键
2
传送系统
1
传送控制
(基板传送)
初始化
[ALT] + [N]
基板搬入
[ALT] + [L]
基板搬出
[ALT] + [T]
基板固定解除
[ALT] + [R]
基板重夹
[ALT] + [C]
基板
HMS
夹紧
[ALT] + [M]
孔基准
[ALT] + [H]
外形基准
[ALT] + [S]
基板厚度
[ALT] + [K]
基板尺寸
X
[ALT] + [X]
执行
[ALT] + [E]
2
传送控制
(自动调整基板宽度
返回原点
[ALT] + [G]
变更幅度
[ALT] + [C]
基板幅度
[ALT] + [W]
执行
[ALT] + [E]
3
传送控制
(马达)
入口马达
[ALT] + [ I ]
中心马达
[ALT] + [C]
出口马达
[ALT] + [U]
正转
[ALT] + [N]
反转
[ALT] + [R]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]
4
传送控制
(支撑台)
支撑台
[ALT] + [L]
[ALT] + [U]
[ALT] + [D]
/
[ALT] + [/]
5
传送控制
(信号)
准备输出
[ALT] + [R]
能搬出基板
[ALT] + [B]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]
6
传送控制
(挡块)
挡块
[ALT] + [S]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]
3
图像
VCS
控制
侧面照明控制
[ALT] + [I]
下方照明控制
[ALT] + [T]
同轴照射照明控制
[ALT] + [G]
全照明控制
[ALT] + [A]
极性控制
[ALT] + [R]
照明单元位置
[ALT] + [L]
STD
[ALT] + [S]
OPT
[ALT] + [O]
STD/OPT
[ALT] + [/]
ON
[ALT] + [O]
OFF
[ALT] + [F]
ON/OFF
[ALT] + [/]