JM-20使用说明书.pdf - 第950页

第 2 部功能详解篇第 11 章自动校准 11 -1 >> 如果设置错误，有可能出现误动作。 >> 要进行设置时，请与本公司商量后再操作。 >> 接通电源后要立即执行自动校准时，需先预热 15 分钟以上。第 11 章自动校准 11 - 1 概要使用自动校准功能，可对机器的部分 MS 参数进行变更。自动校准的设置项目见下表。 No. 自动校准组设置内容 1 激光高度…

第 2 部功能详解篇第 10 章设备运行信息

10-39

(3) [重新设置]按钮

按下[重新设置]按钮或者选择下拉菜单的[数据(D)]－[重新设置]，则显示以下画面。

可以清除一览中的特定或者全部内容。

・通过[全部选择]按钮，可以选择全部的选择按钮。

・按下希望重新设置项目的选择框后，再按下[确定]按钮，则显示问询信息，按下[确定]，则重

新设置对象项目，关闭画面。

・按下[取消]按钮，不重新设置数据，直接显示原有数据。

10-5 数据

10-5-1 设置各吸嘴运行信息

请参见「10-4-2 各吸嘴运行信息 (3)设置次数/级别」。

10-5-2 设置各 Head 运行信息

请参见「10-4-3 各Head运行信息 (3)设置次数/级别」。

10-5-3 重新设置

与10-4中各画面中的[重新设置]按钮具有同样的功能。

第 2 部功能详解篇第 11 章自动校准

11-1

>> 如果设置错误，有可能出现误动作。

>> 要进行设置时，请与本公司商量后再操作。

>> 接通电源后要立即执行自动校准时，需先预热 15 分钟以上。

第

章

自动校准

11-1 概要

使用自动校准功能，可对机器的部分MS参数进行变更。

自动校准的设置项目见下表。

No.

自动校准组

设置内容

激光高度从基板表面看的激光高度

Head 偏移量

各 Head 相对于 OCC 的安装位置

与激光校准主体安装的角度

VCS 偏移标准、选购项 VCS 的安装位置/安装角度

VCS2 值化阈值

将标准、选购项 VCS 的图像数据进行 2 值

化时的阈值

真空校准真空校准值

※ 在取得偏移量的操作中需要使用夹具时，应在执行菜单时，把夹具移到方便安装的位置(等待位

置)上。请按照提示信息小心地操作。

对在“机器设置＞使用单元＞标准使用单元”的“Head”未选中的

Head，不能进行计测、测量。按钮为无效状态。

注意

打开画面时，轴会移动。打开画面之前，请务必确认无人在进行装置

内部的作业。此外，为了避免人身伤害，在运行过程中，切勿将手放

入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。

警告

第 2 部功能详解篇第 11 章自动校准

11-2

11-1-1 启动

按下桌面画面菜单栏的[维护]/[自动校准]，或按下命令按钮的[自动校准]、即可显示下列画面。