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6. 预防保养 QD145-04 202 NXT Ⅱ机械手册 6.9.2 真空泵过滤器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 将真空布管内设定为大气压。 5. 2M-2 基座的时 候，按下面的步骤拆除滤 芯。 a. 松开滤器套下部的螺栓，将滤器套从主体 拆除。 b. 从主体拆除滤芯。 6. 4M-2 基座的时 候，按下…
6. 预防保养 QD145-04
202 NXT Ⅱ机械手册
6.9.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 2M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 松开滤器套下部的螺栓，将滤器套从主体拆除。
b. 从主体拆除滤芯。
6. 4M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 按下过滤器套的锁定旋钮，旋转滤器套后从主体拆除。
b. 旋转滤芯盖板后拆除，取下滤芯。
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QD145-04 6. 预防保养
NXT Ⅱ机械手册 203
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
6.9.3 料盘单元 -L 空气过滤器的清扫
1. 拧下 M5 螺栓 （2 根 )，拆下制动器盖罩。
2. 拆下树脂框。
3. 取出过滤器。
4. 吹入压缩空气清扫过滤器或者在污垢严重时更换新的部件。
5. 安装过滤器、树脂板、制动器盖罩。
注意
风扇动作中不能进行操作。有被风扇卷入的危险。
运转中不能进行操作。因为在制动器盖罩被拆下时进行操作，有可能被 TZ 轴驱动部分
夹住手。