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第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要 1-7 1-2 本设备的构成 1-2-1 本设备的构成 图 1-2-1-1 正面图 图 1-2-1-2 右面图 图 1-2-1-3 ① ATC 单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 供料器台架单 元 ② LNC60 Head 单元 ⑤ 基板传送 单元 ⑧ VCS 单元 ③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元 ⑨ HMS 单元 ① 监视器 ④ 键盘 ⑦ 主开关 ② 液晶显示器 ⑤ 鼠标器 ⑧ 真空泵 ③ HO…
第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要
1-6
*4 不可同时设置 ATC。
*5 领导矫正治具和 USB 保护组件成为领导矫正功能和组套。
*6 选择式的标准装备。
*7 利用元件数据库时，需另外配备计算机。
*8 仅可对应 MTS。基板尺寸 L 规格时不可对应。
*9 对应 M/C RevD 以前的版本。
*10 对应 M/C RevE 以后的版本。
*11 另外需要电脑。
*12 与 JaNets 的部分功能对应。具体请参照 JaNets 使用说明书。
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1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
图 1-2-1-1 正面图 图 1-2-1-2 右面图
图 1-2-1-3
① ATC单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 供料器台架单元
② LNC60 Head单元 ⑤ 基板传送单元 ⑧ VCS 单元
③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元 ⑨ HMS 单元
① 监视器
④ 键盘 ⑦ 主开关
② 液晶显示器 ⑤ 鼠标器 ⑧
真空泵
③ HOD 单元 ⑥ 信号灯
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑧
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◆打开安全盖时要把盖子向上推，按箭头的方向
（LOCK）推动锁定杆并锁定。确认上了锁之后
再放开手。
﹡没有上好锁就放开手时，
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，将锁定杆向 OPEN 方向拉动
解开锁。
（请注意，解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。）
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。
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﹡注：开关安全盖时的注意事项
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＞
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
锁定杆