JM-10_使用说明书.pdf - 第277页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 29 部分清洗 3-3- 13 引脚矫正机组 实施频率：每月 清洗内容 引脚矫正工具的污 垢清洗 使用工具：气枪 1) 从工 具底座， 请取出芯片 盒和引脚矫 直 设备 。 2) 请删 除 3-1-14 引脚 矫正设备 的工具部分的 污垢。 （ 吹用气枪工 具的一部分， 请清洁。 ） 清洁时，夹具不 会被删 除， 请 做清 洁仍然是机 组 的。 3) 以相反 的次序 3-1- 14 引脚 矫 …
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-28
（１） 拆下风扇马达的过滤器。
把黑色树脂部分向身前方向拉，即可拆下。
（２） 用吸尘器吸过滤器的灰尘。
风扇过滤器
（３） 把过滤器装回去。请确认风扇运转是否正常。
因风扇高速旋转，在接通电源的状态下进行作业有危险。要进行作
业时，请务必切断电源。
1）如果传感器窗上附着有大量的垃圾或灰尘，请使用吹风机等吹掉。请避免通过呼气吹掉脏污。
2）少量的垃圾和灰尘请使用柔软的布（眼镜布等）沾上少量酒精，仔细擦去。请勿用力擦拭。如
果损伤滤镜，会造成误差。
清扫部位
3-3-11 风扇马达
实施频度： 每月
清扫内容 清扫过滤器的灰尘、异物 使用工具：吸尘器
清扫位置
3-3-12 高度测量装置 (HMS)
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫激光窗口 使用工具：棉纱 推荐溶剂 ： IPA
无法去除脏污时，请更换过滤器。
名称：风扇过滤器
品目编号：HM001010020 （5 件装）
向箭头方向拉
注意
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-29
部分清洗
3-3-13 引脚矫正机组
实施频率：每月
清洗内容 引脚矫正工具的污垢清洗 使用工具：气枪
1) 从工具底座，请取出芯片盒和引脚矫直设备。
2) 请删除 3-1-14 引脚矫正设备的工具部分的污垢。
（吹用气枪工具的一部分，请清洁。）
清洁时，夹具不会被删除，请做清洁仍然是机组的。
3) 以相反的次序 3-1-14 引脚矫正机组，请组装到夹具底座。
矫正工具
（两侧）
工具底座
芯片箱
引脚矫正机组
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3-30
3-4 注油
1）用注油枪，从 XY 轴直动单元的黄油注油孔注入黄油。
注油项目
3-4-1 XY 轴直动单元
实施频度 ：3 年
使用工具 ：注油枪 使用润滑油 ：
6459 润滑油 N
注油处 XY 轴直动单元（黄油注油孔）
ＸＹ轴的马达部的轴承，请绝对不要注油（机械油、黄油）。
注意
为防止突然起动造成事故，请切断电源后进行。
危险
①Ｘ轴直动单元轨道 上下 2 根
②Ｘ轴直动单元 上下左右 4 处
③ Ｙ轴直动单元轨道 左右 2 根
④ Ｙ轴直动单元 前后左右 4 处
黄油注入处
（黄油注入孔）
X
轴油嘴
厂商：
IKO
尺寸：
A-M4
Y
轴油嘴
厂商：
IKO
尺寸：
B-M6