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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 设备运行信息 8- 16 8-5- 4 轴运行信息 从菜单栏中选择 「 窗口 (W) 」 / 「 其他」 / 「 轴运行信息 」 ，则显示 下图。 图 8-5-4-1 轴运行信息 图 8-5-4-2 错误提 示信息 No. 项目 内容 1 X 轴总移动距离 X 轴的移 动距离累计。 2 Y 轴总移动距离 Y 轴的移 动距离累计。 3 Z 轴总移动距离 Z 轴 (L1 、 L 2 、 L3 、 L4 、…
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8-15
8-5-3 VCS 运行信息
从菜单栏中选择「窗口(W)」/「图像」/「VCS运行信息」，则显示下图。
图 8-5-3-1 VCS 运行信息
No. 项目 内容
1 使用次数 使用 VCS 的累计次数。
2 使用时间 使用 VCS 的累计时间。
3 故障次数 VCS 发生错误的累计次数。
4 插入可能元件判定范围外
错误次数
VCS 判定的因可插入元件为范围外所导
致的错误次数累计。
5 反射照明运行次数 使用反射照明的累计次数。
6 反射照明运行时间 使用反射照明的累计时间。
7 侧面照明运行次数 使用侧面照明的累计次数。
8 侧面照明运行时间 使用侧面照明的累计时间。
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8-16
8-5-4 轴运行信息
从菜单栏中选择「窗口(W)」/「其他」/「轴运行信息」，则显示下图。
图 8-5-4-1 轴运行信息
图 8-5-4-2 错误提示信息
No. 项目 内容
1 X 轴总移动距离 X 轴的移动距离累计。
2 Y 轴总移动距离 Y 轴的移动距离累计。
3 Z 轴总移动距离 Z 轴(L1、L2、L3、L4、L5、L6 贴片头)
的移动距离累计。
4 T 轴总移动距离
θ
轴(L1、L2、L3、L4、L5、L6 贴片头)总移动距离累计
。
L1,L2,L3 移动距离相同。
L4,L5,L6 移动距离相同。
5
补给润滑脂后的移
动距离
补给润滑脂后的 X 轴、Y 轴总移动距离。
达到规定的移动距离后会显示警告。（图 8-5-4-2）。
请参照 3-4-2 章 XY 轴滚珠丝杠，补给润滑脂。
按下滚珠丝杠的重新设置，则 X 轴、Y 轴均变为「0.000 km」。
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8-5-5 传送运行信息
从菜单栏中选择「窗口(W)」/「其他」/「传送运行信息」，则显示下图。
图 8-5-5-1 传送运行信息
No. 项目 内容
1 通过的基板总数 通过的基板张数累计。
2 等待基板搬入时间 从基板可搬入状态到夹紧下一个基板的时间累计。
3 等待基板搬出时间 从基板传送动作开始到动作完成的时间累计。
4 等待基板传送时间
从释放基板至被传送到 OUT 缓冲区之前的时间累计
(另外，仅限于搬出的动作时间不计算在内。)
5 入口马达驱动次数 搬入马达动作次数累计。
6 入口马达驱动时间 搬入马达动作时间累计。
7 出口马达驱动次数 搬出马达动作次数累计。
8 出口马达驱动时间 搬出马达动作时间累计。
9 传送故障次数 传送错误次数累计。
10 支撑台驱动次数 支撑台驱动次数累计。
11 停止挡销驱动次数 止动销动作次数累计。
12 中心马达驱动次数 中心马达驱动次数累计。
13 中心马达驱动时间 中心马达驱动时间累计。