JM-10_使用说明书.pdf - 第267页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 19 3-3 清扫 1) 请检查Ｘ轴单 元和Ｙ軸 单元轨道上有无 附着垃圾 、灰尘，并清扫 干净。 把黄油揩干后， 请涂抹新 黄油。 2) 请检查 X 轴单元和 Y 轴单元的滚珠 丝杠行程末端 是否有润滑 油积聚，如有 积聚请将其 擦除。 除了积聚部分之外，请不要擦 去其他地方的润滑油。并且，擦去时请 不要对轴进行润滑油涂 敷。 涂抹黄油的地 方， 请参见 使用 说明书「 3- 4 注油 3-…
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3-18
真空泵分解图
No. 名称 No.
名称
1 支柱 10 O 环 S-67
2 泵头盖 11 密封材
3 泵头支架 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
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3-19
3-3 清扫
1)请检查Ｘ轴单元和Ｙ軸单元轨道上有无附着垃圾、灰尘，并清扫干净。
把黄油揩干后，请涂抹新黄油。
2)请检查 X 轴单元和 Y 轴单元的滚珠丝杠行程末端是否有润滑油积聚，如有积聚请将其擦除。
除了积聚部分之外，请不要擦去其他地方的润滑油。并且，擦去时请不要对轴进行润滑油涂
敷。
涂抹黄油的地方，请参见使用说明书「3-4 注油 3-4-1 XY 轴直动单元或 3-4-2 XY 轴
滚珠丝杠」。
清扫部位
3-3-1 XY 轴直动单元
实施频度 ：每月
清扫内容 除去轨道上的灰尘、脏黄油
使用工具 ：毛刷、抹布
使用黄油 ：
6459 润滑油 N
X 轴轨道
Y 轴轨道
滚珠丝杠
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3-20
1) 请把各种传送传感器上面附着的灰尘和垃圾清除干净。
脏污去除不掉时，请沾少量的酒精（IPA）清扫。
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能导致返回原点异常。
若是脏污去不掉，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
3-3-2 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
清扫部位
3-3-3 CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
IN 传感器
传送方向
停止传感器
OUT 传感器
WAIT 传感器
C
・
OUT
传感器
①
②