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第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要 1-9 1-2-1-1 基板传送部分的构造 图 1-2-1-4 基板传 送 ① 搬入 传感器 ⑧ 支撑 台 ⑭ WAIT 传感器 ② 停止 传感器 ⑨ 传送宽度调整 手轮 ⑮ C 、 OUT 传感器 ③ 止动 器 ⑩ 减压 阀(支撑台用 ) ⑯ 支撑台速度 切换单元 (M/C R ev .E 以后 ) ④ 支撑 台 UP 传感器 ⑪ 驱动轴 ⑤ 支撑 台 D OW N 传感器 ⑫ 搬出 传感器 …

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1 基本篇 1 设备概要
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◆打开安全盖时要把盖子向上推,按箭头的方向
LOCK)推动锁定杆并锁定。确认上了锁之后
再放开手。
﹡没有上好锁就放开手时
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁,再关闭盖子。
把盖子向上提,将锁定杆 OPEN 方向拉动
解开锁。
(请注意,解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷
<
﹡注:开关安全盖时的注意事项
>
LOCK(锁定)状态 OPEN(打开)状态
锁定杆
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1-2-1-1 基板传送部分的构造
1-2-1-4 基板传
搬入传感器 支撑
WAIT
传感器
停止传感器 传送宽度调整手轮
C
OUT
传感器
止动 减压阀(支撑台用 支撑台速度切换单元
(M/C Rev.E
以后
)
支撑
UP
传感器 驱动轴
支撑
DOWN
传感器 搬出传感器 速度控制器
支撑电磁阀 止动电磁阀 减压阀
传送马达 速度切换开关
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在通常速度下,钳下降中发生元件跳出时,降低支撑台 夹钳下降时的速度,以达到防止元
件跳出的功能。
◆通过支撑台速度切换单元的速度切换开关,可以切换支撑台速度
速度切换开关的状态
支撑台速度
OFF
通常速度
ON
低速
OFF(通常速度) ON(低速)
支撑台速度切换功能
(M/C Rev.E
以后
)
速度切换开关