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第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要 1-8 ◆打开安全盖时 要把盖子 向上推，按箭头 的方向 （ LOCK ）推动锁定杆并锁定。 确认上了锁之后 再放开手。 ﹡没有上好 锁就放开手时 ， 盖子有落下 来的危险。 ◆关盖子时先解 开锁，再 关闭盖子。 把盖子向上提， 将锁定杆 向 OPEN 方向拉动 解开锁。 （请注意，解开 锁时不要 使盖子落下来造 成人员受 伤。 ） ﹡不要过渡 增加盖子、手 把等的负荷 。 < ﹡注：开关…
第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要
1-7
1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
图 1-2-1-1 正面图 图 1-2-1-2 右面图
图 1-2-1-3
① ATC单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 供料器台架单元
② LNC60 Head单元 ⑤ 基板传送单元 ⑧ VCS 单元
③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元 ⑨ HMS 单元
① 监视器
④ 键盘 ⑦ 主开关
② 液晶显示器 ⑤ 鼠标器 ⑧
真空泵
③ HOD 单元 ⑥ 信号灯
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑧
第 1 部 基本篇 第 1 章 设备概要
1-8
◆打开安全盖时要把盖子向上推，按箭头的方向
（LOCK）推动锁定杆并锁定。确认上了锁之后
再放开手。
﹡没有上好锁就放开手时，
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，将锁定杆向 OPEN 方向拉动
解开锁。
（请注意，解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。）
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。
<
﹡注：开关安全盖时的注意事项
>
＞
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
锁定杆
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1-2-1-1 基板传送部分的构造
图 1-2-1-4 基板传送
① 搬入传感器 ⑧ 支撑台 ⑭
WAIT
传感器
② 停止传感器 ⑨ 传送宽度调整手轮 ⑮
C
、
OUT
传感器
③ 止动器 ⑩ 减压阀（支撑台用） ⑯支撑台速度切换单元
(M/C Rev.E
以后
)
④ 支撑台
UP
传感器 ⑪ 驱动轴
⑤ 支撑台
DOWN
传感器 ⑫ 搬出传感器 ⑰ 速度控制器
⑥ 支撑台电磁阀 ⑬ 止动器电磁阀 ⑱ 减压阀
⑦ 传送马达 ⑲ 速度切换开关
①
②
③
④
⑤
⑦
⑧
⑨
⑪
⑦
⑪
⑫
⑭
⑮
⑩
⑬
⑥
⑯
⑰
⑰
⑱
⑲