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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 设备运行信息 8- 22 8-5- 10 真空泵运行信息 从菜单栏中选择 「 窗口 ( W ) 」 → 「 其他 」 → 「 真空泵运行信息 」 ,则显示 下图 。 图 8-5-10-1 真空泵运行信 息 No. 项目 内容 1 使用时间 真空泵运行的 时间累计。

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2 功能详解篇 8 设备运行信息
8-21
8-5-9 应用程序运行信息
从菜单栏中选择窗口(W)」→其他」→应用程序的运行信息,则显示下图。
8-5-9-1 应用程序运行信息
No. 项目 内容
1 轴运行次数 预热时轴动作次数的累计。
2 轴运行时间 预热时轴动作时间的累计。
2 功能详解篇 8 设备运行信息
8-22
8-5-10 真空泵运行信息
从菜单栏中选择窗口(W)其他真空泵运行信息,则显示下图
8-5-10-1 真空泵运行信
No.
项目 内容
1 使用时间 真空泵运行的时间累计。
2 功能详解篇 8 设备运行信息
8-23
8-5-11 HMS 运行信息(选购项)
从菜单栏中选择窗口(W)/灯光」/HMS运行信息,则显示下图。
8-5-11-1 HMS 运行信息
No. 项目 内容
1 HMS 使用次数 使用 HMS 的次数累计。
2 HMS 使用时间 使用 HMS 的时间累计。