KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明.pdf - 第462页
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 4-157 ④ 请选择标记的形状。 标记的形状将被自动判别。 判别结果有误时， 请用HOD的↑键、 ↓键(X、 Y移动上下箭头键) 选择正确的标记。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检测框的示教。 ④ 完成的操作后，自动将大小为标记尺寸 1.5 倍的窗口移动到画面中心(默认窗口)。 想改变检测框时，按照与…
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
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● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设定按钮，设定照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设定照明图案。
图 4.5.2.3.1-3 照明条件设定
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设定。
图 4.5.2.3.1-4 照明图案设定
·可通过<应用>按钮来确认所设定光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
带 REGIST/保护膜的图
案照明
在标记上有 REGIST 或保护膜，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
与标记相关的信息相同，仅对检测框进行重新示教时，如果按下 HOD 的 NEXT 键，
则可略过③的操作。
此时，重新识别标记时，NEXT 键无效。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有
时光亮不稳定。
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④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)
选择正确的标记。
[＊]
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
④ 完成的操作后，自动将大小为标记尺寸 1.5 倍的窗口移动到画面中心(默认窗口)。
想改变检测框时，按照与④相同的步骤进行。
在此，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可以返回检测框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检测框}
设定的方法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
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⑥ 示教结束后，显示是否登录到标记数据库的信息框
图 4.5.2.3.1-5 基板标记示教(2)
将示教数据新登录进标记数据库中时，请输入登录名称，然后按下<新建>按钮。
当对已经登录的失教数据进行替换时,请输入替换的名称，将光标移至登录区域想要替换的
数据所在的行，然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据登录到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
No. 按钮选择 处理
1 新建 输入登录名称，将示教数据登录到标记数据库中并束。
2 覆盖 替换所选的光标所在行的数据。
3 取消 不将示教数据登录进标记数据库中而结束。
至此，以识别为目的的示教操作结束。识别的示教结束后，标记数据的横头显示“*”，表
示示教已完成。对使用的标记请全部进行识别示教。
此外，在示教过程中按下HOD的CANCEL键，则即刻结束当前的示教。(此时，到此为止所输
入的数据均无效)。
按下CANCEL键时，装置不移动。
按下 HOD 的 CAMERA 键进行黑白反色显示。相对于基板来说标记显得比较暗时，请按
CAMERA 键进行黑白反色显示，使标记显得白亮。
通过 CAMERA 键进行的标记反转，仅在刻度框的输入时有效。