KE-2000R_InstructionManual_C_Rev00说明.pdf - 第713页
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-22 9-4-2-2 自动控制传送 从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制(A)”，则显 示如下的自动控制传 送画面。 图 9-4-2-2-1 自动控制传送(显示例.KE-2060R) (1) 控制项目 利用按钮来选择控制项目。 图 9-4-2-2-2 (2) 定位方式 利用按钮来选择定位方式。 ◆ 在控制项目中选中“初始化” 、 “基板搬出” 、 “基板固定解除” 、…
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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利用控制按钮来执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目，选择“ON（O
）”按钮、“OFF(F)”按钮、“ON/OFF(/)”按钮或按下
“F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。选中支撑台时，按“上（U）”、“下(D)”、
“上/下（/）”按钮进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制(A)”，则显示如下的自动控制传
送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送(显示例.KE-2060R)
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图 9-4-2-2-2
(2) 定位方式
利用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”、“基板 WAIT/OUT 传感器检查”
时，不能进行设定。
图 9-4-2-2-3
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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(3) 控制按钮
利用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目，选择“执行(Ｅ
)”按钮或按下“F3”键来进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 基板固定解除
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
根据定位方式中所指定的方式将位于传送通道上的基板重新夹紧。
6) 基板 WAIT/OUT 传感器检查
将IN缓冲区的IN传感器与WAIT传感器之间的基板移动到WAIT传感器为ON的位置。
此外，将未碰到OUT缓冲区的OUT传感器的基板移动到OUT传感器为ON的位置。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。