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Model DECAN Series Company SAMSUNG TECHWIN Module 3.18 V ACUUM DEVICE V ersion 01 Tit le 更换 V ACUUM PUMP Page 3-18-16 Note 3. 更换新 Va c u u m P u m p ，连接气动软管
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
更换VACUUM PUMP
Page
3-18-15
Note
[更换 VACUUM PUMP]
1. 拆卸连接到设备前下方的 Vacuum Pump 的气动软管
2. 松开固定 Vacuum Pump 的固定螺栓后，拆卸
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
更换VACUUM PUMP
Page
3-18-16
Note
3. 更换新 Vacuum Pump，连接气动软管
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
更换VACUUM PUMP(OPTION)
Page
3-18-17
Note
[更换 VACUUM PUMP(OPTION)]
1. 拆卸连接到设备前下方的 Vacuum Pump 的气动软管
2. 松开固定 Vacuum Pump 的固定螺栓后，拆卸
3. 拆卸组装于 Vacuum Pump 的配件
4. 更换新 Vacuum Pump 后，打开配电部后，如下布线电缆
5. 将 Vacuum Pump 组装于设备后，连接气动软管