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Model DECAN Series Company SAMSUNG TECHWIN Module 3.1 ANC V ersion 01 Tit le ANC 上面平行度标准 Page 3-1-3 Note [ANC 上面平行度标准 ] ANC 上面平行度标准： 0.05mm 以内 在 Head 附着 Magnetic indicator( 最小刻度： 2um) ，进行测定
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.1 ANC
Version
01
Title
ANC侧面平行度标准
Page
3-1-2
Note
[ANC 侧面平行度标准]
ANC 侧面平行度标准：0.02mm 以内
在 Head 附着 Magnetic indicator(最小刻度：2um)，检查平行度
用 Head 的 Fiducial camera，在查看 ANC Fiducial mark 和 Vision 画面时，检查平行度
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.1 ANC
Version
01
Title
ANC上面平行度标准
Page
3-1-3
Note
[ANC 上面平行度标准]
ANC 上面平行度标准：0.05mm 以内
在 Head 附着 Magnetic indicator(最小刻度：2um)，进行测定
Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.1 ANC
Version
01
Title
更换SHUTTER CYLINDER
Page
3-1-4
Note
[更换 SHUTTER CYLINDER]
1. 关闭设备电源
2. 切断供给设备的气动
3. 拆卸连接到 ANC 的 Cylinder 的气动软管及电缆
4. 松开固定 Cylinder 的固定螺母，拆卸 Cylinder
5. 更换新 Cylinder