Chapter3_Repair_Guide.pdf - 第4页

Model DECAN Series Company SAMSUNG TECHWIN Module 3.1 ANC V ersion 01 Tit le ANC 侧面平行度标准 Page 3-1-2 Note [ANC 侧面平行度标准 ]  ANC 侧面平行度标准： 0.02mm 以内  在 Head 附着 Magnetic indicator( 最小刻度： 2um) ，检查平行度  用 Head 的 Fiducial camer…

Model

DECAN Series

Company

SAMSUNG TECHWIN

Module

3.1 ANC

Total Pages

[ANC 侧面平行度标准] ......................................................................................... 2

[ANC 上面平行度标准] ......................................................................................... 3

[更换 SHUTTER CYLINDER] ............................................................................... 4

[设定快门启动速度] .............................................................................................. 5

[调整快门传感器] .................................................................................................. 6

[ANC 气动布线(F2)] ............................................................................................. 7

[ANC 气动布线(L2)] .............................................................................................. 9

[ANC 安装位置及设定] ....................................................................................... 11

Model

DECAN Series

Company

SAMSUNG TECHWIN

Module

3.1 ANC

Version

Title

ANC侧面平行度标准

Page

3-1-2

Note

[ANC 侧面平行度标准]

 ANC 侧面平行度标准：0.02mm 以内

 在 Head 附着 Magnetic indicator(最小刻度：2um)，检查平行度

 用 Head 的 Fiducial camera，在查看 ANC Fiducial mark 和 Vision 画面时，检查平行度

Model

DECAN Series

Company

SAMSUNG TECHWIN

Module

3.1 ANC

Version

Title

ANC上面平行度标准

Page

3-1-3

Note

[ANC 上面平行度标准]

 ANC 上面平行度标准：0.05mm 以内

 在 Head 附着 Magnetic indicator(最小刻度：2um)，进行测定