FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C.pdf - 第298页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-4 ○准备更换 1） 请确认真空泵①没有运转。 （刚停止运行后温度很高，请注意） 2） 请打开后侧正面的开关盖。 3） 拆下连接真空泵的空气管， 用六角扳手拆下②的泵支撑架。 4） 从主机里拉出真空泵。 （拉出时请注意连接线。 ） 5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到 接线柱上的电线③。 6 ） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的 内六角螺丝 M6×L16。 7 ） 请拆下把手和面板。 请将…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-3
1） 在压力表上确认压力为 –90 ～ -95kPa。
2） 压力较低时，需要更换消耗零件。
请按照下面的“检查、更换真空泵零件”进行消耗零件的检查、更换。
压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。
＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号：40068178
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
吸气阀防干扰橡胶 4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目检
吸、排气阀 12
有无变形、硬化、欠缺
目检
排气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
皮碗垫圈
CUP PACKING
4
有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
垫圈 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
真
空
泵
内
部
吸气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
尼龙管 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检 外
部
消声器 1 有无变形、硬化、龟裂等 目检
检查项目
・
3-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
检查･更换 检查、更换真空泵零件
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换标准：1 年
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-4
○准备更换
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请打开后侧正面的开关盖。
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从主机里拉出真空泵。
（拉出时请注意连接线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线③。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请拆下把手和面板。
请将泵纵向放置，使要更换的贴片头向上。
①
②
③
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-5
○头盖的拆除方法
1)请用六角扳手拧下固定头盖的 4 个
M6×L30 内六角螺丝。
○气缸的拆除方法
1）请对准外壳部位在压板上用油性笔做标记。
3)请向上拆除气缸。
2) 拆下头盖。
2)请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。
（这时，必须要戴上手套）