FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C.pdf - 第698页
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制 8-20 8-4-1-1 控制对象：基板传送 点击“基板传送”按钮后的画面显示内容和处理内容如下。 图 8-4-1-1-1 基板传送 (1) 状态 显示传送马达/传感器的 ON、OFF 状态。 (2) 控制项目 点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。 1)初始化 将基板传送进行初始化。 2)基板搬入 选择站点后，按定位方式搬入基板。 3)基板搬出 搬出基板。 4)基板…
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-19
其他传感器如下表所示。
表 8-4-1-1 其他传感器
No. 显示项目 显示图 表示内容
1 外形基准气缸
外形基准气缸处于 OFF 状态。
外形基准气缸处于 ON 状态。
2 支撑台挡块(CE 机)
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
3 支撑台原点传感器
支撑台处于 OFF 状态。
支撑台处于 ON 状态。
4 传送挡块干涉传感器
传送挡块干涉传感器处于 OFF 状态。
传送挡块干涉传感器处于 ON 状态。
5
准备搬入
（Ready In ）
准备搬出（Ready Out ）
准备搬入、准备搬出处于 OFF 状态。
准备搬入、准备搬出处于 ON 状态。
6
能搬出基板 IN（Board
Available In）
能搬出基板 OUT
（Board Available Out）
能搬出基板 IN/OUT 处于 ON 状态。
能搬出基板 IN/OUT 处于 OFF 状态。
7 停止挡销
停止挡销处于 OFF 状态。
停止挡销处于 ON 状态。
(2) 控制对象选择按钮(Tab)
可选择控制对象。
按下按钮后的显示内容、处理内容在以下的小项中作介绍。
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8-20
8-4-1-1 控制对象：基板传送
点击“基板传送”按钮后的画面显示内容和处理内容如下。
图 8-4-1-1-1 基板传送
(1) 状态
显示传送马达/传感器的 ON、OFF 状态。
(2) 控制项目
点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
选择站点后，按定位方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
用在定位方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
(3) 站点选择
通过单选按钮选择要控制的站点。
(4) 定位方式
通过单选按钮选择定位方式。
控制项目中的“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”被选中时，将无法设置此项。
(5) 执行
开始控制。
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8-21
8-4-1-2 控制对象：自动调整基板宽度
点击“自动调整基板宽度”按钮后，画面显示内容和处理内容如下。
图 8-4-1-2-1 自动调整基板宽度
(1) 状态
显示各传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 站点选择
通过单选按钮选择要控制的站点。
(3) 控制项目
点击“执行(E)”按钮，或按下“F3”键后，开始执行控制处理。
1)返回原点
自动调整基板宽度恢复原点。
2)变更幅度
变更传送宽度。
3)传感器调谐
调整传送传感器。
(4) 执行
开始控制。