FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C.pdf - 第324页

第 1 部基本篇第 3 章维护 3-30 1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。有灰尘或异物时，请用气枪去除。清扫部位・ 3-3-11 OCC（偏光滤光片）实施频度：每周清扫内容清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物使用工具：气枪偏光フィルタ偏光滤光片

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-29

1)统一更换台车要定期清扫。此外，在安装带式送料器等送料器类前，若发现有芯片元件等异物

时，也要用吸尘器等进行清扫。

2)请确认｢台架定位销③｣（两侧）附近没有芯片元件等异物。

1) 接头的 A 面上若有灰尘、垃圾附着时，请用布沾上酒精擦干净。

A 面上有灰尘时，可能影响元件检查正常进行。

清扫部位

・

3-3-9 统一更换台车（选购项）

实施频度：每周

清扫内容清扫供料器台架的灰尘、异物使用工具：吸尘器

清扫部位

・

3-3-10 CVS（元件验证系统）（选购项）

实施频度：每周

清扫内容清扫 CVS 的灰尘、异物使用工具：抹布推荐溶剂：IPA

接头

A面

台架定位销

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-30

1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。

有灰尘或异物时，请用气枪去除。

清扫部位

・

3-3-11 OCC（偏光滤光片）

实施频度：每周

清扫内容清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物使用工具：气枪

偏光フィルタ

偏光滤光片

第 1 部基本篇第 3 章维护

3-31

3-4 注油

1) 用黄油枪，从 XY 轴直动单元的黄油注油孔注入黄油。

注油项目

・

3-4-1 XY 轴直动单元

实施频度：每年

使用工具：黄油枪使用润滑油：

6459 润滑油 N

注油处 XY 轴直动单元（黄油注油孔）

ＸＹ轴的驱动用带及马达部的轴承，请绝对不要注油（机械油、

黄油）。

注

意

为防止突然起动造成事故，请切断电源后进行维护作业。

危

险

① Ｘ轴直动单元轨道上下 2 处

② Ｘ軸直动单元上下左右 4 处

黄油注入处

（黄油注入孔）

③ Ｙ轴直动单元轨道左右４处

④ Ｙ轴直动单元前后左右８处