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JSD8013110 サービスマニュアル 第 4 章 4- 48 マ シ ン 調 整 モ ー ド 4 e 安全を確認して、 [ E N T E R ] キーを押します。 ヘッド部が基板原点上へ移動し、操作ディスプレイには下図の画面が現れ ます。 46442-C0-00 A428 <<<ﾃｨｰﾁﾝｸﾞ>>> ﾌｨﾃﾞｭｰｼｬﾙﾏｰｸの位置をﾃｨｰﾁﾝｸﾞします。 ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸによって、ﾌｨﾃﾞ…
JSD8013110
サービスマニュアル
第
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章
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マ
シ
ン
調
整
モ
ー
ド
4
8
マシン調整モードに入り、「カメラスケール」コマンドを実
行します。
「3/3/B1 調整項目選択」→「移動カメラ」→「カメラスケール」→ 調整
するカメラの「テーブル」 を選択実行してください。
46439-D8-00
対象指定
視野 & ﾋﾟﾝﾄ
照明光量
ｶﾒﾗｽｹｰﾙ
調整・検査対象
移動ｶﾒﾗ
<<<ｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝ>>> 3/ﾒﾝﾃﾅﾝｽ/M
<<ﾓｰﾄﾞ>> 3/ﾏｼﾝ調整
<ｺﾏﾝﾄﾞﾘｽﾄ> B/ﾌｧｲﾙ操作
B1 調整項目選択
ﾃｰﾌﾞﾙ
Aﾃｰﾌﾞﾙ
Bﾃｰﾌﾞﾙ
9
マークデータ番号を入力して、 [ENTER] キーを押します。
Step 2 でメモしたマークデータ登録番号を入力します。
(調整専用ガラス基板を使用している場合は、マークデータベース番号は
281です。)
46440-C0-00
A420
移動ｶﾒﾗのｽｹｰﾙ調整は基板のﾌｨﾃﾞｭｰｼｬﾙﾏｰｸを認識させて
行います.・・・
ﾏｰｸﾃﾞｰﾀ番号 153
0
軸の「移動量」を確認して、[ENTER] キーを押します。
カメラスケールの調整では軸を動かしながら画像処理を行います。この軸
移動量は、20 (mm/10) が適切です。
46441-C0-00
A423
移動ｶﾒﾗのｽｹｰﾙ調整では、軸を動かしながら３点の
画像処理を行う必要が有ります。・・・
軸移動量(mm/10) 20
q
基板をコンベアに固定します。
「コンベアユニット」メニューが開きますので、必要な操作をして、基板
をコンベア上に固定してください。
基板がすでに固定されている場合は、このステップは省きます。
w
コンベアユニット操作の「戻る」を選択します。
[ESC]キーで「コンベアユニット」メニューを抜けることもできます。
前ステップで非常停止状態をかけた場合はそれを解除し、 [READY] ボタ
ンを押してください。
JSD8013110
サービスマニュアル
第
4
章
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マ
シ
ン
調
整
モ
ー
ド
4
e
安全を確認して、[ENTER] キーを押します。
ヘッド部が基板原点上へ移動し、操作ディスプレイには下図の画面が現れ
ます。
46442-C0-00
A428
<<<ﾃｨｰﾁﾝｸﾞ>>>
ﾌｨﾃﾞｭｰｼｬﾙﾏｰｸの位置をﾃｨｰﾁﾝｸﾞします。
ｼﾞｮｲｽﾃｨｯｸによって、ﾌｨﾃﾞｭｰｼｬﾙﾏｰｸをﾓﾆﾀｰ画面中央の・・・
r
フィデューシャルマークを画面の中央に合わせます。
YPU のジョイスティックを操作して、ビジョンディスプレイのクロス
カーソルに合わせてください。
42417-C0-00
t
[ENTER] キーを押して、カメラスケールを求めます。
移動カメラがマークに対しX 方向と Y 方向に移動し、ビジョンディスプ
レイ内の移動量に基づいてカメラスケールが計算され、下図のように結果
が表示されます。
46443-D8-00
<<<結果>>>
移動ｶﾒﾗのｽｹｰﾙの調整結果を表示します。
結果を残したい場合には「ENTER」ｷｰを、
破棄したい場合「ESC」を押してください。
注）まだ調整結果はﾌｧｲﾙには保存されていません。
ｽｹｰﾙx
ｽｹｰﾙy
角度r
=
=
=
10.3
10.3
0.05
A431
<<ﾓｰﾄﾞ>> 3/ﾏｼﾝ調整
y
結果が基準値に入っていることを確認します。
移動カメラの高さ (ピント) や角度が適切に調整されていれば、カメラス
ケールや角度は以下の基準値に収まります。外れている場合は、「視野＆
ピント」を再調整し、再度カメラスケールの結果を確かめてください。
■ 移動カメラスケールと取り付け角度の基準値
44405-D8-00
基準値
10.3±0.3µm/pixel (10.0∼10.6µm/pixel)
10.3±0.3µm/pixel (10.0∼10.6µm/pixel)
0±0.5°
パラメーター
スケールx
スケールy
角度r
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シ
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調
整
モ
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ド
4
e
u
画面の指示に従って調整を終了します。
コンベアユニットを解除し、非常停止ボタンを押してから、基板をコンベ
アから取り除いてください。
i
調整データを保存します。
「B2 調整後データ保存」または「B0 データ保存後終了」を選択実行して
ください。（保存したくない場合は、「B3 調整前データ復活」または「B7
強制終了」を選択実行してください。）