YV180X Service_J.pdf - 第129页

JSD8013110 サービスマニュアル 第 5 章 5- 3 手 動 モ ー ド 5 1 . 手動モードメニュー 手動モードでは、エア駆動部やサーボモーター駆動部の ON/OFF をはじめ、 電気的動作の確認をすることができます。また、Y P U のジョイスティック を操作して、各軸を移動させることができます。 「 3/4/ 手 動」 モードに入ると、 「 A/IO ユーティリティー」 、 「B / 軸制御」の メニューウインドウが選…

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5 手動モード
1. 手動モードメニュー ................................................................................................................5-3
2. I/Oユーティリティ <3/4/A>............................................................................................ 5-4
2.1 入出力モニター <3/4/A1> ....................................................................................................................................................... 5-4
2.2 フィーダー出力モニター <3/4/A2> ................................................................................................................................ 5-6
2.3 真空センサー入力モニター <3/4/A4> .......................................................................................................................... 5-6
2.4 ノズルチェンジ <3/4/A5> ....................................................................................................................................................... 5-7
2.5 コンベアユニット操作 <3/4/A0> ...................................................................................................................................... 5-7
3. 軸制御 <3/4/B> ...........................................................................................................................5-8
3.1 ジョイスティック軸選択 <3/4/B1> ................................................................................................................................ 5-8
3.2 運転スピード変更 <3/4/B2> .................................................................................................................................................. 5-8
3.3 座標指定移動 <3/4/B3> .............................................................................................................................................................. 5-9
3.4 原点復帰 <3/4/B6> .......................................................................................................................................................................... 5-9
3.5 手動運転モード終了 <3/4/B0> ......................................................................................................................................... 5-10
手動モードでは、YPU ジョイスティックで軸操作したり、調整時に役
立つコマンドを実行したりすることができます。本章では、手動モー
ドに用意されているコマンドの機能や入出力モニターの読み方につい
て説明します。
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1. 手動モードメニュー
手動モードでは、エア駆動部やサーボモーター駆動部のON/OFFをはじめ、
電気的動作の確認をすることができます。また、YPU のジョイスティック
を操作して、各軸を移動させることができます。
3/4/動」モードに入ると、A/IO ユーティリティー」「B/ 軸制御」の
メニューウインドウが選択可能となります。各メニューの内容について説明
します。必要に応じてキーボードの[F1]キーを押して、操作ディスプレイに
表示されるヘルプメッセージも参照してください。
■ 手動モードのメニューウインドウ
46501-D8-00
<<<アプリケーション>>>   3/メンテナンス/M
<<モード>> 4/手動
<コマンドリスト> A/IOユーティリティ B/軸制御
A1 
入出力モニター
A2 
フィーダー出力モニター
A3
A4 
真空センサー入力モニター
A5 
ノズルチェンジ
 
A6 
ATS/YTFパレット
A0 
コンベアユニット操作
B1 ジョイスティック軸選択
B2 運転スピード変更
B3 座標指定移動
B4 
B5 
B6 原点復帰
B0 手動運転モード終了
「A/IOユーティリティー」を
選択すると開くメニュー
「B/軸制御」を
選択すると開くメニュー
参考
この手動モードは、オペレーション・マネージャーやデータ・マネージャーの手動モードと
まったく同じです。YV180には、トレイチェンジャー (YTF80W、ATS20) を接続できませ
んので、パレットを操作するための「A6 ATS/YTFパレット」コマンドは無効です。
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2. I/O ユーティリティ <3/4/A>
3/4/A/IOユーティリティ」メニューには、本機のデジタル入出力信号状
態の確認など調整のときによく使うコマンドがリストされています。矢印
キーでカーソルをコマンド名に合わせて [ENTER]キーを押すか、数字キー
でコマンド番号を直接入力して実行します。以下、各コマンドの機能につい
て説明します。
2.1 入出力モニター <3/4/A1>
本機のデジタル入出力信号状態の確認やON/OFFを行うときに、このコマ
ンドを使います。3/4/A1 入出力モニター」を選択実行すると、下図のよ
うに「表示方法」の選択画面が現れます。
■ 入出力モニターの表示方法メニュー
46502-D8-00
<<<アプリケーション>>>   3/メンテナンス/M
<<モード>> 4/手動
<コマンドリスト> A/IOユーティリティ
A1 入出力モニター
A2 
フィーダー出力モニター
A3
A4 
真空センサー入力モニター
A5 
ノズルチェンジ 
A6 
ATS/YTFパレット
A0 
コンベアユニット操作
表示方法
 全表示
 選択表示
1) 「全表示」を選択すると、本機の全 I/O 信号の入出力状態が表示されます。
2) 「選択表示」を選択すると、「表示対象」を選ぶサブメニューが開きます。
対象項目を選び[ENTER]キーを押すと、関連項目の入出力状態が表示さ
れます。
■ 「選択表示」を選択したときのサブメニュー
46503-D8-00
<<<アプリケーション>>>   3/メンテナンス/M
<<モード>> 4/手動
<コマンドリスト> A/IOユーティリティ
A1 入出力モニター
A2 
フィーダー出力モニター
A3
A4 
真空センサー入力モニター
A5 
ノズルチェンジ 
A6 
ATS/YTFパレット
A0 
コンベアユニット操作
表示方法
 全表示
 選択表示
表示対象
 コンベア
 ヘッド
 照明
 フィーダー
 ノズルステーション
 廃棄ステーション
 トレイチェンジャー
 インターロック
 原点リミット
 オプション機能
 ioシーケンス
 ウェハー
 その他