KE2000R动作说明书.pdf - 第106页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 5-1-6 BASE−FEEDER 基板、温度 传 感器基板 BASE−FEEDER 基板 1、 功能 此基板装 电 有供料器推进、信号灯的控制器、 MTC I/F 等功能。 1−1 供料器的推进功能 可以驱动 80 销的供料器 。 另外, 进行多层供料器的 READ・BUSY 信号和禁止信号的 READ/WRITE。 1−2 信号灯的控制功能 可以驱动过去的信号灯的红色、黄色、绿色的亮灯和面灯等…

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⑤ 总压力检测传感器(READ)
⑥ 小信号灯的驱动(WRITE)
⑦ 温度传感器基板输出电(READ)
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5-1-6 BASE−FEEDER基板、温度传感器基板
BASE−FEEDER基板
1、功能
此基板装电有供料器推进、信号灯的控制器、MTC I/F等功能。
1−1 供料器的推进功能
可以驱动80销的供料器。另外,进行多层供料器的READ・BUSY信号和禁止信号的READ/WRITE。
1−2 信号灯的控制功能
可以驱动过去的信号灯的红色、黄色、绿色的亮灯和面灯等蜂鸣器的驱动。
另外还具有小型信号灯用的驱动电路。
1−3 温度传感器和真空传送功能
为了监视因温度测化监视基座的膨胀和收缩,传感器基板上安装在底座上。此温度传感器基板可以把温度
测换成电压电。BASE−FEEDER基板读取此电,测换成数字电。同 视,读取ATC上的吸嘴的真空等级
的真空传感器电,测换成数字电,通知MAIN CPU。
温度传感器: 测定范围0∼50℃ 分辨率:约0.2℃
真空传感器:测定范围±1013×10^2Pa 分辨率:约4.9×10^2Pa
1−4 MTC I/F
装电有MTC 1
台的8比特并行I/F。
2 LED的显示功能
LED1 (绿):CPU正常动作传亮灯。
LED2 (红):本地接口上发生接口异常的传,CPU测为HALT,此传亮灯。
LED3(红)系统为FAIL状动传亮灯。
(基板的鼓掌传LED2,3亮灯。)
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3 SW的功能
RESET SW :RESET此基板。 ABOTE SW:向CPU发行NMI。
3.构成传
MPU 68000
ROM
256K
FLASH Memory
256K
Local Bus
MTC I/F
FEEDER I/F
MTC TR−*
FEEDER
Front 40 Rear 40
READY/BUSY
Dual Port
RAM 256K
Slave
Controller
IRQ
Controller
VME−Bus
SIGNAL LIGHT
CAL LIGHT TEMP.
BASE I/F
TIMER
Local Controller
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