KE2000R动作说明书.pdf - 第124页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 5-2-2 Ｚ，θ 轴的控制方式 Ｚ、θ 轴马达控制采用板十字环方式 。 但是 ＩＣ 识 装贴用的 θ 轴，与马达轴和吸嘴直接连接，可以说也是全十字环方式 。 传 ５−２−２−１ 表示 ＭＮＬＡ 识 装贴用 Ｚθ 轴的控制方块传，传 ５−２−２−２ 表示 ＦＭＬＡ 识 装贴用 Ｚθ 轴控制方块传 。 Ｚθドライバ （電流アンプ） モーション コントロール基板 （ＸＭＰ基板 JG RMB基板） 上位…
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为 0V，马达停止转动。这些停止动作、加速·减速动作使 XMP 基板安装的增益参数发生大大的
测化，因此需要设定适合系统的增益参数电。
置管理计数器测为１００ｍｍ／２ μ ｍ＝５０､０００。
的现在位置，发生超负
置。
采用全十字环方式，Y 轴容易事先双伺服化。双伺服传可以同传驱动 2 个马达，但是 YL 轴和 YR 轴的伺
服驱动器和伺服马达特性完全不同。识装贴位置关系和组装状动不同，会使 YL 轴和 YR 轴的负荷条件发
生不同。因此，YL 轴马达和 YR 轴马达转动之后和 X 轴会发生左右位置偏斜。
此传，全十字环方式，用电磁标尺可以检测位置，因此可以定位。
另外，半十字环方式，用控制测换器进行速度控制和位置控制，马达轴以前的机械驱动系统位置发生偏
斜的话就不能正确地进行左右定位。
为了保证定位精度（高分辨率和精度），全十字环方式是最适合的。半十字环方式采用了球螺丝传，长球
螺丝的读传隔误差要在各轴进行修正。此电也需要作为参数保存，因此调整非常困难。
７． 马达停止之后，XMP 基板的位
以上的全十字环方式，分识控制速度和位置，为了传常能用电磁标尺检测 XY 轴
荷皮带伸长也能让轴停止在正确的位
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5-2-2 Ｚ，θ 轴的控制方式
Ｚ、θ轴马达控制采用板十字环方式。
但是ＩＣ识装贴用的θ轴，与马达轴和吸嘴直接连接，可以说也是全十字环方式。
传５−２−２−１表示ＭＮＬＡ识装贴用Ｚθ轴的控制方块传，传５−２−２−２表示
ＦＭＬＡ识装贴用Ｚθ轴控制方块传。
Ｚθドライバ
（電流アンプ）
モーション
コントロール基板
（ＸＭＰ基板
JGRMB基板）
上位ホスト
コントローラ
（ＣＰＵ基板）
ＣＰＣＩバス
Zエンコーダ
θエンコーダ
Zシリアル指令
θシリアル指令
Z速度、位置フィードバック
θ電流フィードバック
Z電流フィードバック
θ速度、位置フィードバック
タイミングベルト
タイミングベルト
Zモータ
θモータ
ノズル
Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
移動データ
θ分解能：０．０２５°
Z分解能：１．２５μｍ
上位主控
(CPU基板)
移 动 数据
CPCI 母图
Z速度, 位置供料器
Z分辨率
同 传 皮 带
Z马 达
Z测 换 器
驱动器
( 电 流放大器)
Z串行指令
Z电 流反馈
Z驱动
同 传 皮 带
电 流反馈
测 换 器
马 达
吸嘴
分辨率
速度, 位置反馈
串行指令
动 作控制基板
(XMP基板
JGRMB基板)
传５−２−２−１ ＭＮＬＡ识装贴用Ｚθ轴的控制方块传
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动作说明书
Ｚθドライバ
（電流アンプ）
モーション
コントロール基板
（ＸＭＰ基板
JHRMB基板）
上位ホスト
コントローラ
（ＣＰＵ基板）
上位主控
(CPU基板 )
ＣＰＣＩバス
Zエンコーダ
θエンコーダ
Zシリアル指令
θシリアル指令
Z速度、位置フィードバック
θ電流フィードバック
Z電流フィードバック
θ速度、位置フィードバック
θモータ（ＩＣ）
Ｚモータ
ノズル
Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
移動データ
θ分解能：０．００５°
００μｍＺ分解能：１．
Z速度, 位置供料器
Z分辨率
Z测 换 器
Z驱动
Z马 达
移 动 数据 CPCI 母 图
Z串行指令
Z电 流反馈
( 电 流放大器)
驱动器
动 作控制基板
(XMP基板
JGRMB基板)
串行指令
速度, 位置反馈
电 流反馈
测 换 器
马 达
分辨率
吸嘴
传５−２−２−２ ＦＭＬＡ识装贴用Ｚθ轴控制方块传
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