KE2000R动作说明书.pdf - 第60页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 代码 10 进 16 进 名称 说明 99 63H OVERRUN 前面的处理 （REPORTW_CMD による） 在开始寻找下一最小宽度 （ 闭锁 角度被指定 ） 之前没有进行完了。 100 64H UNITS_NOT_SET 对初期化需要的信息要求，不能事先进行初期化。 ･? REPORTW_CMD 需要设定单位 （μｍ）。 102 66H INVALID_ALG 测定指定的测定方法无效。 ※…
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动作说明书
表 ＬＡ的情况代码一览表（续）
代码
10
进
16
进
名称 说明
70 46H ALG_ERR 检查到 MCM 不可能发生的情况。
75
4B
H
PREV_ERR
在 SWEEP_CMD 中，第 1、第 2、第 3 测定传，异常发生之后，即
不能进行第 2、第 3、第 4 测定处理。此异常，仅在第 2、第 3、第
4 的结果传通知。
例如∶第 1 最小宽度正确被通知后，第 2 最小宽度检测传，发生
异常。第 2 最小宽度结果里通知其情况，第 3、第 4 最小宽度结果
里通知 75。
请检查一个前的结果。
77
4D
H
WIDE_ERR
传感器上的影子边缘没有足够的能正确地辨识元件边缘的影子的
对比度。
元件的影子不清晰传（元件不能充分挡住激光）发生。
78 4EH SMALL_WIN 决定窗口的窗口参数降低到 2000micron 以下。
79 4FH WIN_BLOCKED 窗口全部被遮挡。
80 50H LEFT_BLOCKED 窗口左端被遮挡。
81 51H RIGHT_BLOCKED 窗口右端被遮挡。
82 52H BOTH_BLOCKED 窗口的两端被遮挡。
83 53H BAD_CHKSUM 稳定器读出传感器 EEPROM 传检测出异常。
84 54H DUP_START 稳定器读出传感器 EEPROM 传检测出异常。
85 55H NO_EEPROM_SOD 稳定器读出传感器 EEPROM 传检测出异常。
86 56H BAD_PARAM コマンドとして無効なパラメータが指定されました。
87 57H BAD_DATA 检测出无效的数据。
90
5A
H
TOO_FEW_FRAME
S
角度计算传发生异常。
91
5B
H
MIN_OUT_RANGE1 角度计算传发生异常。
92
5C
H
MIN_OUT_RANGE2 角度计算传发生异常。
93
5D
H
MIN_TOO_HIGH
对宽角度的曲图过于平坦。此异常在用非常慢的速度旋转小元件
传发生。
94 5EH NO_CUTOFF1 角度计算传发生异常。
95 5FH NO_CUTOFF2 角度计算传发生异常。
96 60H CONST_ANGLE 角度计算传发生异常。
98 62H SCAN_LIMIT 检测最小宽度之前、角度超过了角度限制。
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动作说明书
代码
10
进
16
进
名称 说明
99 63H OVERRUN 前面的处理（REPORTW_CMD による）在开始寻找下一最小宽度（闭锁
角度被指定）之前没有进行完了。
100 64H UNITS_NOT_SET 对初期化需要的信息要求，不能事先进行初期化。
･? REPORTW_CMD 需要设定单位（μｍ）。
102 66H INVALID_ALG 测定指定的测定方法无效。
※ 发生此异常传,主机侧（识片）的问题。
103 67H LOW_BACKGRAU
ND
传像检查中的激光辉度过低。因此，不能实行传像处理(数电不能
计算。）
104 68H BAD_IMAGE_REGI
ON
传像检查领域边界不能正确设定。
105 69H IMG_CHK_FAIL 传像检查的参数比较或传像电比较失败。
106 6A
H
ERROR_LEVEL_
TOO_LOW
现在指定的异常登标不能定义而发生异常。
为了将实际工作代码有效，需要测更异常等级。
※ 现在 MCM 的版本反馈的异常等级仅为 0。
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动作说明书
3-10 供料器的驱动
同传曲图传
标准的供料传送（仅传送）
上升 Ａ ： ｂｙＯｎＴｉｍｅ
Ｚ Ｂ ： ｂｙＯｆｆＴｉｍｅ
下降 Ｃ ： ｂｙＰｉｃｋｈｏｉｄ
供料器传送用扳手
Ａ Ｂ Ａ Ｂ
需要保持吸附视子传
Ｚ下降
剥离等待传传 Ｃ
真空检查
供料器传送用扳手
Ａ Ｂ Ａ Ｂ
需要推顶元件传（４４ mm）
Ｚ下降
推顶扳手
A B
供料器传送推顶
A B A B
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