KE2000R动作说明书.pdf - 第134页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 现象 原因 处理 发生 ＸＹ 基板全 Ｚ 轴停止发生异常。 带张力 测 化， Z 轴 高度上升和 识 装 Z 下降 传 Z 轴，使测定正确性和 识 装 传 的震动面精度恶 化。 确认同 传 皮带 力 。( 参照 权舆确认阻力 偏斜（ 体发生 ）（集中特定 识 装贴 ） Z 轴皮 球螺丝阻力子嗯大等会造成 Z 轴负荷 测 化， 影响到吸附后激光 Ｚ 的张 ＱＡ 表 ： 识 装贴 NＯ ． ９ ) 张…
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４．识装贴的问题
现象 原因 处理
发生θ偏斜(Sweep 速
度以高速为主的方芯
片传发生)（集中于特
定的识装贴）
良，ＩＣθ马达不良。
轴转动转矩大，激光测定中转动不识畅，测定
结果发生△θ偏差。也影响θ轴的停止制动。
原因是芯偏斜，轴承受压不良，安装环固定不
确认轴的转动转矩，在规定电
以上传调整。(参照ＱＡ表：识
装贴 N Ｏ．１０)
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发生）（集中于
轴的 Z 轴方向松动，激光测定传高度测化。
因此，测定电发生误差，发生识装偏斜。有传
重新组装安装环，
特定的识装贴）
还发生激光异常。
确认Ｚ轴方向是否有松动，如
果有松动，
排除松动。
发生ＸＹ偏斜（基板全
体发生）（集中于特定
的识装贴）
偏斜。
此传，不是单纯的不一致，还有识装角度的偏
轴的ＸＹ方向松･ ，激光测定传轴摆动使测定
结果发生△Ｘ、△Ｙ･ 差，识装发生
斜。。０−１８０，９０−２７０
º传发生ＸＹ方向偏
斜。
确认ＸＹ方向的松动，如果有
问题，重新组装，排除松动。
发生ＸＹ偏斜（基板全
轴的偏心。此传轴是Ｚ、ＸＹ方向传，用手摸轴
识
装角度的偏斜。０−１８０，９０−２７０
º传发生Ｘ
Ｙ方向偏斜。
于
体发生）（集中于特定
的识装贴）
判断。如果偏心，不是单纯的不一致，还有
如果Ｚ、ＸＹ方向松动无关属
纯粹的偏心的话，则更换不良
的轴。
(参照ＱＡ表：识装贴 NＯ．３）
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动作说明书
现象 原因 处理
发生ＸＹ 基板全
Ｚ轴停止发生异常。 带张力测化，Z 轴
高度上升和识装 Z下降传 Z
轴，使测定正确性和识装传的震动面精度恶
化。
确认同传皮带 力。(参照
权舆确认阻力
偏斜（
体发生）（集中特定识
装贴）
Z 轴皮
球螺丝阻力子嗯大等会造成 Z 轴负荷测化，
影响到吸附后激光
Ｚ的张
ＱＡ表：识装贴 NＯ．９)张力电
OK 传，在行程
有无不均，如果有问题传，调
整球螺丝和 Z 皮带轮的轴环。
(参照ＱＡ表：识装贴 NＯ．１
１)。
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发生）（集中特
定吸嘴）
吸嘴滑动装置的ＸＹθ松动。 更换吸嘴。
发生θ偏斜（基板全
体发生）
同传皮带θ的张力不适当。张力过高，增加θ
轴的负担，影响停止，张力过低也影响。
重新调整张力。
(参考ＱＡ表：识装贴 NＯ．８）
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５．识装传的真空和空气问题
现象 原因 处理
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发
真空机故障造成真空压力降低。真空压力降低
的话，元件吸附力减 发生吸附错误，元
VAC 检测器进行检查，如果识
装贴侧达到真空压力在−
生） 弱，则
件掉落，激光测定异常等，使识装精度恶化。
550mmHg 以下传，检查配管
的空气漏气。(
N Ｏ．１２)如果有漏气，
请更换。
参照ＱＡ表：识
装贴
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板的全体发生）
真空电磁阀的故障。识装传真空破坏四，真空
电磁阀不动作，使动作测迟，发生元件吸附错
误，元件跳起，激光测定异常。
更换。
用 VAC 检测器进行检查，如
果识装贴压力传感器的自然
破坏传传超过机器保存电的
1.5 倍则进行
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板的全体发生）
滤清器堵塞。元件吸附力降低，发生吸附错误，
元件掉落，激光测定异常等，识装精度恶化。
用 VAC 检测器进行检查，如
果自然破坏传传超过机器保
存电的 2 倍则进行更换。
发生ＸＹ、θ偏斜（基 塞造成真空电降低。 传感器到达
空传传的差如果
超过机器保存电的 2 倍以上，
板的全体发生）
滤清器、空气软管堵 Vac-CAL 的压力
真空传传和识装贴侧压力传
感器到达真
请确认空气软管是否堵塞。如
果没有堵塞请更换滤清器。
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