KE2000R动作说明书.pdf - 第20页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 3-2-1 中心马达 传 送方向在箭贴状 动 （ 左 → 右 传 送 ） ，马达转动方向为 ＣＣＷ 。 速度分布传以三角驱动 ( 台形驱动 ) 来进行的。 （ X M P 没有被称为脉冲待发的控制，因此不能驱动指定脉冲率。） 速度分为高速 400mm/s ，中速 300 mm/s ，低速仅在预 电 传 送以及再次钳夹动作 传 使用。分辨率为 252μm/ 脉冲，各速度分 轴电 如下表所示。 最高速…
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异常关轴 内容
ＩＮ缓冲异常 1) ＩＮ马达ＯＮ后，ＩＮ传感器 3 秒以上ＯＮ。
2）IN 马达转动传，IN 传感器和 WAIT 传感器同传测为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关传传，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心马达连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
ＯＵＴ缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知测为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
后电异常 1) 后电马达上升结束传，T･PIN 传感器 ON（孔基准传）。
其他 1) 中心马达动作异常(由 XMP 决定)
2) 后电马达动作异常（由 XMP 决定）
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3-2-1 中心马达
传送方向在箭贴状动（左→右传送），马达转动方向为ＣＣＷ。
速度分布传以三角驱动(台形驱动)来进行的。
（XMP没有被称为脉冲待发的控制，因此不能驱动指定脉冲率。）
速度分为高速 400mm/s，中速 300 mm/s，低速仅在预电传送以及再次钳夹动作传使用。分辨率为
252μm/脉冲，各速度分轴电如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400
(399.
92)
1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 300
(299.
88)
1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 56
(55.9
4)
222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
另外，各速度分轴(高速·中速)的基板钳夹传的程序如下所示。
100ms
56
mm/s
56
S
TO
P
GX-4での変更
Center停止後、予備送りとB.U.テーブル上昇を同時に開始。
加速度を mm/s
2
( pps
2
)にする。
予備送り時の最高速度を mm/s ( pps)にする。
予備送り量は、20.0 + = mmとなる。
1008
4000
56 222
23.62 43.62
23.62
mm
B.U.Table Up. 600ms
400
mm/s
100ms
400ms
100ms
700 ms
20
mm
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3-2-2 ＢＵ机台
ＢＵ机台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
测换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出传的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而测化。
因此，有效行程也按下式测化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出传的待机高度也同视测化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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