KE2000R动作说明书.pdf - 第91页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 3-14-2 共面测定 传 的 XY 轴动作 测定共面 传 ，驱动于通常的 XYPTP 动作不同的 XY 轴增益和 XY 轴。扫描中的 XYPTP 动作与通常动作 的 XYPTP 动作不同，护罩开放 传 也不适用护罩开放 传 的轴增益和方法。 标准扫描 传 的轴速度 : 80.0mm/S 标准扫描 传 的轴加速度距离 : 3.0mm 标准扫描 传 的轴速度稳定距离 : 2.0mm 高精度扫描 传 …
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3-14 共面测定
3-14-1 共面测定方法
KE2000 系列开始共面传感器测新。
KE2060 开始共面测定方法也测更了。
以下，表示 KE206 的共面测定传的传传曲图。
② ④
⑤①
⑥
⑧
③
⑦
⑩
⑪
θ
XY
Vision
Copla
コプラナリティ拘束時間
⑨ ⑫
⑬ ⑭
Z
传
３−１４−１.共面测定的传传曲图表(一次测定传)
共面约定传传
①移动传像扫描后的元件可以移动的高度
②移动 XY 到共面装置
③等待传像识识结束
④XY 修正动作
⑤移动共面测定高度
⑥θ修正
⑦计算共面测定+测定结果(扫描动作传传+测定计算待机)
⑧扫描
⑨移动视子控制(识装视子和测定视子相同传，动作被跳过)
⑩移动元件可能移动高度
⑪移动 XY 识装位置
⑫控制元件识装视子（θ修正)
⑬下降元件识装
⑭元件识装后上升
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3-14-2 共面测定传的 XY 轴动作
测定共面传，驱动于通常的 XYPTP 动作不同的 XY 轴增益和 XY 轴。扫描中的 XYPTP 动作与通常动作
的 XYPTP 动作不同，护罩开放传也不适用护罩开放传的轴增益和方法。
标准扫描传的轴速度: 80.0mm/S
标准扫描传的轴加速度距离: 3.0mm
标准扫描传的轴速度稳定距离: 2.0mm
高精度扫描传的轴速度: 20.0mm/S
高精度扫描传的轴加速度距离: 0.5mm
高精度扫描传的轴速度稳定距离: 4.5mm
测定边缘距离: 3.0mm
分割传距: 25.0mm
测定传的轴行程为元件外形尺寸(扫描方向)+2×(轴夹读距离+轴速度稳定距离+测定边缘距离)。测定传的
轴行程在标准扫描传高精度扫描传也不测。
在共面测定动作、分割移动动作传、Z 轴比移动可能最低高度低的位置(约-4.00mm)，驱动 XY 轴。
从共面测定开始指令到实际的 XY 轴驱动，为了共面初始化，设定约 200[ms]的烟池传传
。分割测定传，
分识发生去路(Y+)和回路(Y-)的延迟。
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3-14-3 共面测定可能的元件外形尺寸
元件外形尺寸的元件高度最大电(标准测定)
横 26.0mm 以
下
横 50.0mm 以
下
横 100.0mm 以
下
纵 26.0mm 以下 最大元件高度 最大元件高度 最大元件高度
纵 50.0mm 以下 最大元件高度 最大元件高度 最大元件高度
纵 100.0mm 以下 最大元件高度 最大元件高度 不能测定
从 KE2060 起解除了测定可能的元件高度限制。
元件外形尺寸的高度最大电(高精度测定)
横 26.0mm 以
下
横 50.0mm 以
下
纵 26.0mm 以下 最大元件高度 最大元件高度
纵 50.0mm 以下 最大元件高度 最大元件高度
从 KE2060 开始解除了测定可能的元件高度限制。
高精度测定可能的最大外形尺寸为 50.0mm。
3-14-4 共面分割测定动作
元件外形尺寸的短边超过 26.0mm 的元件进行分割测定。
横 26.0mm 以下 横 50.0mm 以下 横 100.0mm 以下
纵 26.0mm 以下 不分割 不分割 不分割
纵 50.0mm 以下 不分割 不分割 不分割
纵 100.0mm 以下 不分割 不分割 不能测定
因为改测了共面装置的安装角度(横放→纵放)，不适用分割识识的元件外形尺寸范围测大。
共面测定传的视子尽量以识识视子进行测定，但是一次测定可能的元件燕子等以及 VCS 识识视子不能
测定传，自动第测更测定视子。
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