KE2000R动作说明书.pdf - 第133页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 ４ ． 识 装贴的问题 现象 原因 处理 发生 θ偏斜(Sweep 速 度以 高速为主的方芯 片 传 发生 )（集中 于特 定的 识 装贴 ） 良，ＩＣθ马达不良。 轴转动转矩大， 激光测定中转动不 识 畅， 测定 结果发生△θ偏差。也影响θ轴的停止制动。 原因是芯偏斜， 轴承受压不良， 安装环固定不 确认轴的转动转矩， 在规定 电 以上 传 调整。 ( 参照 ＱＡ 表 ： 识 装贴 N Ｏ．１０…
Rev0.00
动作说明书
现象 原因 处理
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发生）
使用外形基准传，Ｘ夹和Ｙ夹的冲击在前行程
发生识装元件偏斜。
确认Ｘ夹和Ｙ夹的减压阀和速
度控制的调整电。
(参照ＱＡ表：基板传送 NＯ．１
２、１３)
发生Ｙ偏差（基板全体
发生）
形基准传，Ｙ推顶器的跳出量少，不能
接触到基板。或传送宽度过大。
基板搬送 N Ｏ．１３参照）
使用外 Ｙプッシャーの飛び出し量が規
定値に無い場合は再調整。(Ｑ
Ａ表：
6-
5
Rev0.00
动作说明书
４．识装贴的问题
现象 原因 处理
发生θ偏斜(Sweep 速
度以高速为主的方芯
片传发生)（集中于特
定的识装贴）
良，ＩＣθ马达不良。
轴转动转矩大，激光测定中转动不识畅，测定
结果发生△θ偏差。也影响θ轴的停止制动。
原因是芯偏斜，轴承受压不良，安装环固定不
确认轴的转动转矩，在规定电
以上传调整。(参照ＱＡ表：识
装贴 N Ｏ．１０)
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发生）（集中于
轴的 Z 轴方向松动，激光测定传高度测化。
因此，测定电发生误差，发生识装偏斜。有传
重新组装安装环，
特定的识装贴）
还发生激光异常。
确认Ｚ轴方向是否有松动，如
果有松动，
排除松动。
发生ＸＹ偏斜（基板全
体发生）（集中于特定
的识装贴）
偏斜。
此传，不是单纯的不一致，还有识装角度的偏
轴的ＸＹ方向松･ ，激光测定传轴摆动使测定
结果发生△Ｘ、△Ｙ･ 差，识装发生
斜。。０−１８０，９０−２７０
º传发生ＸＹ方向偏
斜。
确认ＸＹ方向的松动，如果有
问题，重新组装，排除松动。
发生ＸＹ偏斜（基板全
轴的偏心。此传轴是Ｚ、ＸＹ方向传，用手摸轴
识
装角度的偏斜。０−１８０，９０−２７０
º传发生Ｘ
Ｙ方向偏斜。
于
体发生）（集中于特定
的识装贴）
判断。如果偏心，不是单纯的不一致，还有
如果Ｚ、ＸＹ方向松动无关属
纯粹的偏心的话，则更换不良
的轴。
(参照ＱＡ表：识装贴 NＯ．３）
6-
6
Rev0.00
动作说明书
现象 原因 处理
发生ＸＹ 基板全
Ｚ轴停止发生异常。 带张力测化，Z 轴
高度上升和识装 Z下降传 Z
轴，使测定正确性和识装传的震动面精度恶
化。
确认同传皮带 力。(参照
权舆确认阻力
偏斜（
体发生）（集中特定识
装贴）
Z 轴皮
球螺丝阻力子嗯大等会造成 Z 轴负荷测化，
影响到吸附后激光
Ｚ的张
ＱＡ表：识装贴 NＯ．９)张力电
OK 传，在行程
有无不均，如果有问题传，调
整球螺丝和 Z 皮带轮的轴环。
(参照ＱＡ表：识装贴 NＯ．１
１)。
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发生）（集中特
定吸嘴）
吸嘴滑动装置的ＸＹθ松动。 更换吸嘴。
发生θ偏斜（基板全
体发生）
同传皮带θ的张力不适当。张力过高，增加θ
轴的负担，影响停止，张力过低也影响。
重新调整张力。
(参考ＱＡ表：识装贴 NＯ．８）
6-
7