KE2000R动作说明书.pdf - 第31页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 [3] LA 的元件识 识 传 的 Z 轴动作 VCS 识 识 元件检测真空元件 NG 传 ，为了用 LA 识 识 ，追加 2 个行程分 轴 。(参照下表) M α β 待机高度 识 识 高度 右传为行程分 轴 M 行程分 轴 LA ⎯ ⎯ 识 识 方式 VCS M I LA { { 有无元件的检测 真空 { { 3-1 行程分 轴 M VCS 识 识 ，LA 检测 XY → LA VCS 识 识…
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动作说明书
[2]吸附下降传的 Z 轴动作
元件识识方式 (LA, VCS)
C1
C
C2
2
α
吸附高度
待机高度
根据有无元件检测方式 (LA, 真空).分为
2 个行程分轴(参照下表)
右传表示行程分轴 C。
行程分轴
LA ⎯ E
识识方式
VCS C E
LA × {
检测有无元件
真空 { ×
2-1 行程区分 C VCS 识识，Va 检测 基板 → XY
VCS 识识元件用真空检测有无元件传，Z 轴的吸附上升为 XY 移动高度的上升。
移动量 C＝XY 移动高度α + h + 吸附压入量
移动量 C1＝2 + 吸附压入量 + h
移动量 C2＝XY 移动高度α − 2
2-2 行程区分 E LA, VCS 识识，LA 检测 基光 → LA
LA 识识元件或 VCS 识识元件，用 LA 检测有无传 Z 轴的吸附上升到激光高度。
移动量 E＝激光高度 β + 吸附压入量 + h - t
移动量 E＝2 + 吸附压入量 + h
移动量 E＝激光高度 β − 2 − t
2-3 各机关的 Z 轴行程
吸附上升 吸附上升
机关 元件高度规格 识装贴 C C1 C2 E E1 E2
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯ ⎯ 21.1 3.0 18.1
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯ ⎯ 29.1 3.0 26.1
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯ ⎯ 37.1 3.0 34.1
[4] KE-2060 12 FMLA 16.0 3.0 13.0 45.1 3.0 42.1
[5] KE-2060 20 FMLA 24.0 3.0 21.0 53.1 3.0 50.1
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动作说明书
[3] LA 的元件识识传的 Z 轴动作
VCS 识识元件检测真空元件 NG 传，为了用 LA
识识，追加 2 个行程分轴。(参照下表)
M
α
β
待机高度
识识高度
右传为行程分轴 M
行程分轴
LA ⎯ ⎯
识识方式
VCS M I
LA { {
有无元件的检测
真空 { {
3-1 行程分轴 M VCS 识识，LA 检测 XY → LA
VCS 识识元件，用真空检测有无元件为 NG 传，为了用 LA 检测有无元件，Z 轴识识上升从 XY 移动高
度上升。
移动量 M＝激光高度β － h/2 － XY 移动高度α
3-2 行程分轴 I VCS 世界，LA 检测 LA → XY
VCS 识识元件，用 LA 检测有无元件后的 Z 轴识识下降，为激光高度开始下降。
移动量 I＝激光高度β － h/2 － XY 移动高度α
3-3 各机关的 Z 轴行程
识识上升 识识下降
机关 元件高度规格 识装贴 M I
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯
[4] KE-2060 12 FMLA 29.1 29.1
[5] KE-2060 20 FMLA 29.1 29.1
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[4] 识识下降传的 Z 轴动作
按照元件有无检测方式 (LA, 真空)行程分轴
分为 2 关。
α
F
待机高度
识识高度
γ
右传为行程分轴 F。
行程分轴
LA ⎯ ⎯
识识方式
VCS F H
LA × {
有无元件的检测
真空 { ×
4-1 行程分轴 F VCS 识识, Va 检测 XY → VCS
识识元件用真空检测有无元件传，Z 轴的吸附上升为 XY 移动高度的下降。
移动量 F＝XY 移动高度α － VCS 移动高度γ
4-2 行程分轴 H VCS 识识, LA 检测 LA → VCS
识识元件用真空检测有无元件传，Z 轴的识识下降从激光高度下降。
移动量 H＝激光高度β － h + t － VCS 识识高度γ
4-3 各机关的 Z 轴行程
识识下降 识识下降
机关 元件高度规格 识装贴 F H
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯
[4] KE-2060 12 FMLA 4.0 33.1
[5] KE-2060 20 FMLA 4.0 33.1
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