KE2000R动作说明书.pdf - 第108页

R e v 0 . 0 0 动作说明书 温度 传 感器基板 此基板通过基板上安装的温度 传 感器, 检测周围的温度, 输出与温度成比例的电压。 安装位置在底座桥上。 5- 11

100%1 / 139
Rev0.00
动作说明书
SW的功能
RESET SW :RESET此基板 ABOTE SW:CPU发行NMI。
3.构成传
MPU 68000
ROM
256K
FLASH Memory
256K
Local Bus
MTC I/F
FEEDER I/F
MTC TR−
FEEDER
Front 40 Rear 40
READY/BUSY
Dual Port
RAM 256K
Slave
Controller
IRQ
Controller
VME−Bus
SIGNAL LIGHT
CAL LIGH TEMP.
BASE I/F
TIME
Local Controller
5-
10
Rev0.00
动作说明书
温度感器基板
此基板通过基板上安装的温度感器,检测周围的温度,输出与温度成比例的电压。安装位置在底座桥上。
5-
11
Rev0.00
动作说明书
5-1-7 I/O 控制器基板(40001943)
I/O控制基板和各装置的通信,16bit长的串行数据
说明I/O控制基板和各装置基板的关系和功能
各装置基板的控制由I/O控制基板的CPU:68000 12MHz来进行。(但是,关于贴由主控直接控
。)
HOD进行RS−232C的数据送信收信
基板的LED
LED 亮灯状
LED1
LED2
LED3 绿 正常动作
5-1-8 装贴主基板
装贴主基板通过送串行I/F与主控电脑进行通信,是控制装贴部的
I/O的基板。有下列内容。
(1)真空和流动用电磁阀的驱动
(2)读取真空感器检测的真空数据
(3)检测轴的减速感器。
(4)读取坏标感器的ON/OFF和判定结果。(选购品
(5)高精度感器基板和I/F(选购品
5-
12