KE2000R动作说明书.pdf - 第32页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 [4] 识 识 下降 传 的 Z 轴动作 按照元件有无检测方式 (LA, 真空)行程分 轴 分为 2 关 。 α F 待机高度 识 识 高度 γ 右传为行程分 轴 F。 行程分 轴 LA ⎯ ⎯ 识 识 方式 VCS F H LA × { 有无元件的检测 真空 { × 4-1 行程分 轴 F VCS 识 识 , Va 检测 XY → VCS 识 识 元件用真空检测有无元件 传 ，Z 轴的吸附上升为…
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动作说明书
[3] LA 的元件识识传的 Z 轴动作
VCS 识识元件检测真空元件 NG 传，为了用 LA
识识，追加 2 个行程分轴。(参照下表)
M
α
β
待机高度
识识高度
右传为行程分轴 M
行程分轴
LA ⎯ ⎯
识识方式
VCS M I
LA { {
有无元件的检测
真空 { {
3-1 行程分轴 M VCS 识识，LA 检测 XY → LA
VCS 识识元件，用真空检测有无元件为 NG 传，为了用 LA 检测有无元件，Z 轴识识上升从 XY 移动高
度上升。
移动量 M＝激光高度β － h/2 － XY 移动高度α
3-2 行程分轴 I VCS 世界，LA 检测 LA → XY
VCS 识识元件，用 LA 检测有无元件后的 Z 轴识识下降，为激光高度开始下降。
移动量 I＝激光高度β － h/2 － XY 移动高度α
3-3 各机关的 Z 轴行程
识识上升 识识下降
机关 元件高度规格 识装贴 M I
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯
[4] KE-2060 12 FMLA 29.1 29.1
[5] KE-2060 20 FMLA 29.1 29.1
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动作说明书
[4] 识识下降传的 Z 轴动作
按照元件有无检测方式 (LA, 真空)行程分轴
分为 2 关。
α
F
待机高度
识识高度
γ
右传为行程分轴 F。
行程分轴
LA ⎯ ⎯
识识方式
VCS F H
LA × {
有无元件的检测
真空 { ×
4-1 行程分轴 F VCS 识识, Va 检测 XY → VCS
识识元件用真空检测有无元件传，Z 轴的吸附上升为 XY 移动高度的下降。
移动量 F＝XY 移动高度α － VCS 移动高度γ
4-2 行程分轴 H VCS 识识, LA 检测 LA → VCS
识识元件用真空检测有无元件传，Z 轴的识识下降从激光高度下降。
移动量 H＝激光高度β － h + t － VCS 识识高度γ
4-3 各机关的 Z 轴行程
识识下降 识识下降
机关 元件高度规格 识装贴 F H
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯
[4] KE-2060 12 FMLA 4.0 33.1
[5] KE-2060 20 FMLA 4.0 33.1
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[5] 识识上升传的 Z 轴动作
按照检测有无元件方式(LA, 真空).行程分轴分为
2 关。 (参照下表)
J
γ
α
高度 待机高度 识识
右传为行程分轴 J。
行程分轴
LA ⎯ ⎯
识识方式
VCS J L
LA × {
检测有无元件
真空 { ×
5-1 行程分轴 J VCS 识识, Va 检测 VCS → XY
VCS 识识元件，用真空检测有无元件传，Z 轴的识识上升为向 XY 轴高度上升。
移动量 J＝XY 移动高度α － VCS 识识高度γ
5-2 行程分轴 L VCS 识识，LA 检测 VCS → LA
VCS 识识元件，用 LA 检测有无元件传，Z 轴的识识上升为向激光高度上升。
移动量 L＝激光高度β － VCS 识识高度γ － h + t
5-3 各机关的 Z 轴行程
识识上升 识识上升
机关 元件高度规格 识装贴 J L
[1] KE-2050 6 MNLA ⎯ ⎯
[2] KE-2060 12 MNLA ⎯ ⎯
[3] KE-2050/60 20 MNLA ⎯ ⎯
[4] KE-2060 12 FMLA 4.0 33.1
[5] KE-2060 20 FMLA 4.0 33.1
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