KE2000R动作说明书.pdf - 第23页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 3-3 吸嘴更换动作 3-3-1 有θ修正 传 ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有） ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通） 1 1 2 2 3 3 4 4 5m s 5 6 6m 7 7 8 8ｽ ﾗ ｲ ﾄ ﾞ ﾌ ﾟ ﾚ ｰ ﾄ 9 9 Openｾﾝｻ ms 10 10 11 11 12 ms 12 ms 13 13 14 ms 14 15 ms 15 16 16 17 17 18 18 19 19 2…
Rev0.00
动作说明书
3-2-3 基板传送同传传传传
WAIT传感器
STOP传感器
C.OUT传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
100ms
100ms
600ms
400ms
预电传送
XY轴
向轴待机位置移动
強恬扮寂 430ms
(20mm) (23.3mm)
397ms 856ms
(79.36mm) (342.44mm)
1853ms
生产中
向生产开始位置移动
IN马达
上升 下降
向生产开始位置移动
上升
600ms
強恬扮寂 430ms
预电传送
100ms
400ms
100ms
(23.3mm)(20mm)
398ms
(81.8mm)
1054ms
(421.8mm)
1654ms
生产中
GX5 (Ver1.00)
STOP/C.OUT传感器电源ON稳定
后电板马达
3-
9
Rev0.00
动作说明书
3-3 吸嘴更换动作
3-3-1 有θ修正传
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有） ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
1 1
2 2
3 3
4 4
5ms5
6 6m
7 7
8 8ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
9 9 Openｾﾝｻ ms
10 10
11 11
12 ms 12 ms
13 13
14 ms 14
15 ms 15
16 16
17 17
18 18
19 19
20
21
6
7
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ移動（開始∼完了）
Off
ﾉｽﾞﾙNoﾁｪｯｸ
ﾉｽﾞﾙ装着ﾁｪｯｸ
Wait D 20
Wait A 100
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
Wait C 50
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸﾚｰｻﾞ Once
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
Wait C 50
100
ﾉｽﾞﾙ回転ﾁｪｯｸ
項目
動作
備考
ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（開始）
項目
動作
備考
ﾚｰｻﾞ
Z軸
ﾚｰｻﾞ
Z軸
Blow
Z軸
Blow
Z軸
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
XY
Z軸
Z軸
Vacｾﾝｻ
Vac
XY
ﾚｰｻﾞ
Z軸
XY
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（完了）
Close（開始）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（装着）へ移動（開始∼完了）
Once
XY移動高さへ移動（開始∼完了）
吸着位置へ移動（開始∼完了）
On
ﾉｽﾞﾙ詰まりﾁｪｯｸ
Off
On
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（開始）
Off
ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（完了）
交換高さへ移動（開始∼完了） （2段階制御）
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ移動（開始∼完了）
Open（開始）
XY移動高さへ移動（開始∼完了）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Once
On
Close（開始）
On
交換高さへ移動（開始∼完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Blow
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（開始）
ﾌﾟﾘﾛｰﾄﾞ
Open（開始）
On
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（回転）へ移動（開始∼完了）
Sweep
返却角度に回転（開始∼完了）
Z軸
Z軸
ﾚｰｻﾞ
Z軸
Z軸
Blow
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Closeｾﾝｻ
XY
Z軸
ﾚｰｻﾞ
θ軸
XY
θ
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Openｾﾝｻ
Z軸
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
4
12
D
14
211
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Vac On
9
A
停止
ﾚｰｻﾞ
計測
9
168
17 19
Vacuum
ｾﾝｻ
検知
非検知
19
12
D
Blow
On
Off
Vacuum
On
Off
14
B
Close
ｾﾝｻ
On
Off
Open
ｾﾝｻ
On
5
A
Off
13
Close
非計測
8
XY
移動
1
停止
移動
停止
回転
非検知
Off
On
Off
検知
10
Z
移動
3
停止
11 15 C
停止
16
θ
ﾚｰｻﾞ
Vacuum
ｾﾝｻ
Close
On
Off
On
Off
On
Blow
Close
ｾﾝｻ
Vacuum
Open
ｾﾝｻ
XY
Z
計測
非計測
Open
停止
移動
4
5
1
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
6C7 13
21
θ
回転
210
3 151820
ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有）
Wait A 100
Wait B
18
17
Wait D 20
s
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
转动
停止
转动
停止
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
激光激光
滑 动 板滑 动 板
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器传 感器
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
吸嘴退回动作(有θ 修正)
吸嘴安装动作(有无θ 修正共同)
吸嘴安装动 作 ( 有无θ 修正共同)吸嘴退回动 作 ( 有 θ 修正)
电 考 电 考动 作动 作项 目
轴 轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
滑板
滑板
滑板
滑板
激光
激光
激光
激光
激光
激光
传感器
传感器
传感器
传感器
向吸嘴安装位置移动 ( 开 始 )向吸嘴退回位置移动 ( 开 始 )
向吸嘴退回位置移动 ( 完了)
向吸嘴安装位置移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
预载
( 开 始 )
向激光测 定高度( 转动) 移 动 ( 开 始∼完了)
向退回角度转动( 开 始∼完了)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始∼完了)
检查有无吸嘴
检查吸嘴转动
检查有无吸嘴
向更换 高度移动 ( 开 始∼完了)(2级 控制)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
检查吸嘴堵塞
向激光测 定高度（No ）移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度（No ）移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 安装) 移 动 ( 开 始∼完了)
向吸附位置移动 ( 开 始∼完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
检查吸嘴安装
检查吸嘴No
检查有无吸嘴
项 目
向更换 高度移动 ( 开 始∼完了)
3-
10
Rev0.00
动作说明书
3-3-2 无θ修正传
ﾉｽﾞﾙ返却動作 ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
1 1
2 2
3 3
4ms4
5 5
6 6m
7 7
8ms8ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
9 9Openｾﾝｻ ms
10 ms 10
11 ms 11
12 12 ms
13 13
14 14
15 15
16
17
18
19
20
21
6
5
項目
動作
備考
ﾉｽﾞﾙNoﾁｪｯｸ
ﾉｽﾞﾙ装着ﾁｪｯｸ
備考
Z軸 ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
ﾚｰｻﾞ Once
Once
Z軸 XY移動高さへ上昇（開始∼完了）
Blow Off
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ下降（開始∼完了）
On
Close（開始）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（開始）
Open（開始）
On
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（完了）
On
交換高さへ下降（開始∼完了）
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
Z軸
Blow
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Closeｾﾝｻ
Z軸
Z軸
ﾚｰｻﾞ
XY
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Openｾﾝｻ
XY
項目
20
XY ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（開始）
動作
Wait D
Vac On
検知
非検知 非検知
10
100
Vacuum
ｾﾝｻ
Z軸 ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
XY ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（完了）
Vacuum
ｾﾝｻ
検知
Off Off
12
D
14
Wait A
8
D
Blow
On
ﾚｰｻﾞ Once
Z軸 交換高さへ移動（開始∼完了） （2段階制御）
Blow
On
Off Off
112
50Wait C
Vacuum
On
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ移動（開始∼完了）
Open（開始）
On
Z軸
Vacuum
On
Off
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
10
B
Close
ｾﾝｻ
On
Vacｾﾝｻ
Vac Off
ﾉｽﾞﾙ詰まりﾁｪｯｸ
Close
ｾﾝｻ
On
Off
Off
9
A
Open
ｾﾝｻ
On
Blow On
Z軸 ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（開始）
Open
ｾﾝｻ
On
4
A
Off
8169
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
Blow
Z軸 ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（完了）
Off
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
3
Close
1951713 ﾚｰｻﾞ
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ Close（開始）
ﾚｰｻﾞ Once
ﾚｰｻﾞ
計測
非計測
停止 停止
θ
Z軸 ﾚｰｻﾞ計測高さ（装着）へ移動（開始∼完了）
ﾚｰｻﾞ Once
θ
回転
停止 停止
18 2013C12711 Z
移動
315
Z軸 XY移動高さへ移動（開始∼完了）
XY 吸着位置へ移動（開始∼完了）
Z
移動
2
21
停止 停止
4
6
15
移動
回転
計測
非計測
Close
XY
ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
XY
移動
1 1
C7
Wait A 100
Wait B 100
Wait C 50
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正無）
Wait D 20
14
s
吸嘴退回动作(无θ 修正)
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
转动
停止
转动
停止
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
吸嘴安装动作(有无θ 修正共同)
激光 激光
滑 动 板
滑 动 板
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
传 感器 传 感器
吸嘴安装动 作 ( 有无θ 修正共同)
吸嘴退回动 作
项 目动 作 动 作 电 考电 考
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
向吸嘴退回位置移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
向吸嘴退回位置移动 ( 完了)
( 开 始 )滑板
滑板
滑板
滑板
激光
激光
激光
激光
激光
传感器
传感器
传感器
传感器
向滑板移动 高度下降( 开 始∼完了)
( 开 始 )
( 开 始 )
( 开 始 )
检查有无吸嘴
检查有无吸嘴
检查有无吸嘴
检查吸嘴安装
检查吸嘴No
向 XY移 动 高度上升( 开 始∼完了)
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
向更换 高度下降( 开 始∼完了)
项 目
向吸嘴安装位置移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
向吸嘴安装位置移动 ( 完了)
向更换 高度移动 ( 开 始∼完了)(2级 控制)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始∼完了)
检查吸嘴堵塞
向激光测 定高度（No ）移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度（No ）移动 ( 完了)
向吸附位置移动 ( 开 始∼完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始∼完了)
向激光测 定高度（安装）移动 ( 开 始∼完了)
3-
11