KE2000R动作说明书.pdf - 第19页

R e v 0 . 0 0 动作说明书 异常 关轴 内容 ＩＮ 缓冲异常 1 ) Ｉ Ｎ 马达 ＯＮ 后， ＩＮ 传 感器 3 秒以上 ＯＮ 。 2 ） IN 马达转动 传 ， IN 传 感器和 WAIT 传 感器同 传 测 为 ON 。 3) IN 传 感器 ON ，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后， WAIT 传 感器也不 ON 。 （ 有关 传 传 ，由机械控制参数决定） 4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后…

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动作说明书
3-2 基板传送
Ａ
１
１
３
３２
２
４
５ ６ ９ ７ ８
１０
１１
１３
１２
1． ＩＮ马达（感应马达）
2． ＣＥＮＴＥＲ马达（传进马达）
3． ＯＵＴ马达（感应马达）
4． ＩＮ传感器
5． ＷＡＩＴ传感器
6． ＳＴＯＰ传感器
7． Ｃ・ＯＵＴ传感器
8． ＯＵＴ传感器
9． 止动器
10．Ｘ推进器
11. Ｙ推进器
12. ＢＵ马达（传进马达）
13. ＢＵ原点传感器
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动作说明书
异常关轴 内容
ＩＮ缓冲异常 1) ＩＮ马达ＯＮ后，ＩＮ传感器 3 秒以上ＯＮ。
2）IN 马达转动传，IN 传感器和 WAIT 传感器同传测为 ON。
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON。
（有关传传，由机械控制参数决定）
4) 从 IN 缓冲向入口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
入口侧中心站异常 1) 入口侧中心马达连续转动 6 秒钟以上。
2) 入口侧 C･OUT 传感器 ON，入口侧 STOP 传感器 OFF->ON。
3) 从入口侧中心站向出口侧中心站过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
ＯＵＴ缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动。
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知测为 ON。
3) 从 ReadyIN（ON）信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束。
（有关传传，由机械控制参数决定）
后电异常 1) 后电马达上升结束传，T･PIN 传感器 ON（孔基准传）。
其他 1) 中心马达动作异常(由 XMP 决定)
2) 后电马达动作异常（由 XMP 决定）
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动作说明书
3-2-1 中心马达
传送方向在箭贴状动（左→右传送），马达转动方向为ＣＣＷ。
速度分布传以三角驱动(台形驱动)来进行的。
（XMP没有被称为脉冲待发的控制，因此不能驱动指定脉冲率。）
速度分为高速 400mm/s，中速 300 mm/s，低速仅在预电传送以及再次钳夹动作传使用。分辨率为
252μm/脉冲，各速度分轴电如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400
(399.
92)
1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 300
(299.
88)
1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 56
(55.9
4)
222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
另外，各速度分轴(高速·中速)的基板钳夹传的程序如下所示。
100ms
56
mm/s
56
S
TO
P
GX-4での変更
 Center停止後、予備送りとB.U.テーブル上昇を同時に開始。
 加速度を mm/s
2
( pps
2
)にする。
 予備送り時の最高速度を mm/s ( pps)にする。
 予備送り量は、20.0 + = mmとなる。
1008
4000
56 222
23.62 43.62
23.62
mm
B.U.Table Up. 600ms
400
mm/s
100ms
400ms
100ms
700 ms
20
mm
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7