KE2000R动作说明书.pdf - 第22页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 3-2-3 基板 传 送同 传 传 传 传 WAIT 传 感器 STOP 传 感器 C.OUT 传 感器 中心 马 达 中心止 动 器 外形基准 (X 推 进 ) 外形基准 (Y 推 进 ) 100ms 100ms 600ms 400ms 预 电 传 送 XY 轴 向 轴 待机位置移 动 強恬扮寂 430ms (20mm) (23.3mm) 397ms 856ms (79.36mm) ( 342.…
Rev0.00
动作说明书
3-2-2 ＢＵ机台
ＢＵ机台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
测换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出传的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而测化。
因此，有效行程也按下式测化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出传的待机高度也同视测化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
3-
8
Rev0.00
动作说明书
3-2-3 基板传送同传传传传
WAIT传感器
STOP传感器
C.OUT传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
100ms
100ms
600ms
400ms
预电传送
XY轴
向轴待机位置移动
強恬扮寂 430ms
(20mm) (23.3mm)
397ms 856ms
(79.36mm) (342.44mm)
1853ms
生产中
向生产开始位置移动
IN马达
上升 下降
向生产开始位置移动
上升
600ms
強恬扮寂 430ms
预电传送
100ms
400ms
100ms
(23.3mm)(20mm)
398ms
(81.8mm)
1054ms
(421.8mm)
1654ms
生产中
GX5 (Ver1.00)
STOP/C.OUT传感器电源ON稳定
后电板马达
3-
9
Rev0.00
动作说明书
3-3 吸嘴更换动作
3-3-1 有θ修正传
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有） ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
1 1
2 2
3 3
4 4
5ms5
6 6m
7 7
8 8ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
9 9 Openｾﾝｻ ms
10 10
11 11
12 ms 12 ms
13 13
14 ms 14
15 ms 15
16 16
17 17
18 18
19 19
20
21
6
7
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ移動（開始∼完了）
Off
ﾉｽﾞﾙNoﾁｪｯｸ
ﾉｽﾞﾙ装着ﾁｪｯｸ
Wait D 20
Wait A 100
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
Wait C 50
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸﾚｰｻﾞ Once
ﾉｽﾞﾙ有無ﾁｪｯｸ
Wait C 50
100
ﾉｽﾞﾙ回転ﾁｪｯｸ
項目
動作
備考
ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（開始）
項目
動作
備考
ﾚｰｻﾞ
Z軸
ﾚｰｻﾞ
Z軸
Blow
Z軸
Blow
Z軸
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
XY
Z軸
Z軸
Vacｾﾝｻ
Vac
XY
ﾚｰｻﾞ
Z軸
XY
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（完了）
Close（開始）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（装着）へ移動（開始∼完了）
Once
XY移動高さへ移動（開始∼完了）
吸着位置へ移動（開始∼完了）
On
ﾉｽﾞﾙ詰まりﾁｪｯｸ
Off
On
ﾚｰｻﾞ計測高さ（No）へ移動（開始）
Off
ﾉｽﾞﾙ装着位置へ移動（完了）
交換高さへ移動（開始∼完了） （2段階制御）
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ移動高さへ移動（開始∼完了）
Open（開始）
XY移動高さへ移動（開始∼完了）
Once
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Once
On
Close（開始）
On
交換高さへ移動（開始∼完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Blow
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（開始）
ﾌﾟﾘﾛｰﾄﾞ
Open（開始）
On
ﾉｽﾞﾙ返却位置へ移動（完了）
ﾚｰｻﾞ計測高さ（回転）へ移動（開始∼完了）
Sweep
返却角度に回転（開始∼完了）
Z軸
Z軸
ﾚｰｻﾞ
Z軸
Z軸
Blow
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Closeｾﾝｻ
XY
Z軸
ﾚｰｻﾞ
θ軸
XY
θ
ｽﾗｲﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
Openｾﾝｻ
Z軸
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
Open
4
12
D
14
211
ﾚｰｻﾞ計測高さ（有無）へ移動（開始∼完了）
Vac On
9
A
停止
ﾚｰｻﾞ
計測
9
168
17 19
Vacuum
ｾﾝｻ
検知
非検知
19
12
D
Blow
On
Off
Vacuum
On
Off
14
B
Close
ｾﾝｻ
On
Off
Open
ｾﾝｻ
On
5
A
Off
13
Close
非計測
8
XY
移動
1
停止
移動
停止
回転
非検知
Off
On
Off
検知
10
Z
移動
3
停止
11 15 C
停止
16
θ
ﾚｰｻﾞ
Vacuum
ｾﾝｻ
Close
On
Off
On
Off
On
Blow
Close
ｾﾝｻ
Vacuum
Open
ｾﾝｻ
XY
Z
計測
非計測
Open
停止
移動
4
5
1
ｽﾗｲﾄﾞ
ﾌﾟﾚｰﾄ
6C7 13
21
θ
回転
210
3 151820
ﾉｽﾞﾙ装着動作（θ補正有無共通）
ﾉｽﾞﾙ返却動作（θ補正有）
Wait A 100
Wait B
18
17
Wait D 20
s
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
移 动
停止
转动
停止
转动
停止
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
激光激光
滑 动 板滑 动 板
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器
传 感器传 感器
测 定
非 测 定
测 定
非 测 定
吸嘴退回动作(有θ 修正)
吸嘴安装动作(有无θ 修正共同)
吸嘴安装动 作 ( 有无θ 修正共同)吸嘴退回动 作 ( 有 θ 修正)
电 考 电 考动 作动 作项 目
轴 轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
轴
滑板
滑板
滑板
滑板
激光
激光
激光
激光
激光
激光
传感器
传感器
传感器
传感器
向吸嘴安装位置移动 ( 开 始 )向吸嘴退回位置移动 ( 开 始 )
向吸嘴退回位置移动 ( 完了)
向吸嘴安装位置移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
预载
( 开 始 )
向激光测 定高度( 转动) 移 动 ( 开 始∼完了)
向退回角度转动( 开 始∼完了)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
向激光测 定高度( 有无) 移 动 ( 开 始∼完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始∼完了)
检查有无吸嘴
检查吸嘴转动
检查有无吸嘴
向更换 高度移动 ( 开 始∼完了)(2级 控制)
向滑板移动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
检查吸嘴堵塞
向激光测 定高度（No ）移动 ( 开 始 )
向激光测 定高度（No ）移动 ( 完了)
向激光测 定高度( 安装) 移 动 ( 开 始∼完了)
向吸附位置移动 ( 开 始∼完了)
向 XY移 动 高度移动 ( 开 始∼完了)
( 开 始 )
检查吸嘴安装
检查吸嘴No
检查有无吸嘴
项 目
向更换 高度移动 ( 开 始∼完了)
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10