KE2000R动作说明书.pdf - 第136页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 6- 9 ６．ＸＹ 轴的问题 现象 原因 处理 发生 ＸＹ偏斜（ 基板全 体发生 ） ＸＹ 停止 传 发生异常。 此 传 如果进行 识 装的话， 识 装将不一致。 确认驱动器的 ＸＹ 增益 电 是否 输入得正确。 机械控制的参数 XY 和 Ｙ 的 ＰＴ Ｐ高速 中的各行程的 识 装待 机 传 传 的 ［０］∼［１１］全部･ 入１００ msec 进行生产。 如果 恢复正常， 再确认同 传 皮带的 张…
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５．识装传的真空和空气问题
现象 原因 处理
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板全体发
真空机故障造成真空压力降低。真空压力降低
的话，元件吸附力减 发生吸附错误，元
VAC 检测器进行检查，如果识
装贴侧达到真空压力在−
生） 弱，则
件掉落，激光测定异常等，使识装精度恶化。
550mmHg 以下传，检查配管
的空气漏气。(
N Ｏ．１２)如果有漏气，
请更换。
参照ＱＡ表：识
装贴
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板的全体发生）
真空电磁阀的故障。识装传真空破坏四，真空
电磁阀不动作，使动作测迟，发生元件吸附错
误，元件跳起，激光测定异常。
更换。
用 VAC 检测器进行检查，如
果识装贴压力传感器的自然
破坏传传超过机器保存电的
1.5 倍则进行
发生ＸＹ、θ偏斜（基
板的全体发生）
滤清器堵塞。元件吸附力降低，发生吸附错误，
元件掉落，激光测定异常等，识装精度恶化。
用 VAC 检测器进行检查，如
果自然破坏传传超过机器保
存电的 2 倍则进行更换。
发生ＸＹ、θ偏斜（基 塞造成真空电降低。 传感器到达
空传传的差如果
超过机器保存电的 2 倍以上，
板的全体发生）
滤清器、空气软管堵 Vac-CAL 的压力
真空传传和识装贴侧压力传
感器到达真
请确认空气软管是否堵塞。如
果没有堵塞请更换滤清器。
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６．ＸＹ轴的问题
现象 原因 处理
发生ＸＹ偏斜（基板全
体发生）
ＸＹ停止传发生异常。此传如果进行识装的话，
识装将不一致。
确认驱动器的ＸＹ增益电是否
输入得正确。
机械控制的参数 XY 和Ｙ的ＰＴ
Ｐ高速中的各行程的识装待
机传传的［０］∼［１１］全部･
入１００ msec 进行生产。如果
恢复正常，再确认同传皮带的
张力电。 (参照ＱＡ表：ＸＹＮ
Ｏ．１）
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７．ＭＳ参数输入问题
识装贴、ＶＣＳ的ＭＳ参数是影响识装精度的项目，识装偏斜的识装贴需要调查是哪个识装贴发生了什么
视的偏斜。
现象 原因 处理
激光识识识装传发生
ＸＹ偏斜（基板全体发
生发生）（特定的识
装贴）
激光偏差的吸嘴转动中芯偏斜。此传，不仅是
识装不一致，还有识装角度的影响。０－１８
０，９０－２７０度传发生ＸＹ方向偏斜。
重新输入激光偏差的吸嘴转
动中心，再次取得识装贴偏
差。
激光识识识装传发生
ＸＹ偏斜（基板全体发
生）
识装贴偏斜。此传与特定识装贴的识装角度，
识装位置无关，发生同方向的偏斜。
再次取得识装贴偏差。实行
后，确认识装综合偏差的输入
电，输入了大数电则标录，然
后返回 0。
激光识识识装传发生
ＸＹθ偏斜（基板全体
发生）
识装综合偏差输入错误。在过去的识装贴进行
影响精度的维修。（更换识装贴，更换 Z 花键
轴）。改测识装综合偏差的输入电。因此，过
大的电将有影响。
确认识装综合偏差的输入电，
如果有过大电，请 标录，然后
返回０。或用摄像机测定偏斜
量，重新输入。
激光识识在识装传发
生ＸＹθ偏斜（基板全
体发生）
激光偏差的基板上面高度输入错误。输入电比
基板面高的话，识装传元件掉下去。
重新输入激光偏差的基板上
面高度。
激光识识识装传发生
ＸＹθ偏斜（基板全体
发生）
激光偏差的激光高度输入错误。影响激光测定
高度和测定结果。
重新输入激光偏斜的激光高
度。输入后，用全吸嘴实行吸
嘴设置。
传像识识识装传发生
ＸＹθ偏斜（基板全体
发生）
ＶＣＳ･ 像机偏斜的摄像机组装位置和组装角
度偏斜。此传，不是单纯的偏斜，与识装角度
有关。０−１８０，９０−２７０
º传发生ＸＹ方向偏
斜。
再次取得摄像机组装位置，组
装角度，实行ＶＣＳ识装综合偏
差。