KE2000R动作说明书.pdf - 第21页
R e v 0 . 0 0 动作说明书 3-2-2 ＢＵ 机台 Ｂ Ｕ 机台、机械控制以及有效行程 基板上面高度 0.5mm 5mm 有效行程 52.5mm MS 参数输入 ２ mm 7mm 40mm ( 最大 ) 最大基板下限制 字亠佩殻 59mm ④ 原点高度位置 Ｂ ( 原点 传 感器 ON 方向 ) Ａ ( 原点 传 感器 OFF 方向 ) 测 换器检测零相 ③ 软下方限制位置 ① 机械下方限制位置 ② 字亠貧圭㏍㍉崙了崔 ①：…
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动作说明书
3-2-1 中心马达
传送方向在箭贴状动（左→右传送），马达转动方向为ＣＣＷ。
速度分布传以三角驱动(台形驱动)来进行的。
（XMP没有被称为脉冲待发的控制，因此不能驱动指定脉冲率。）
速度分为高速 400mm/s，中速 300 mm/s，低速仅在预电传送以及再次钳夹动作传使用。分辨率为
252μm/脉冲，各速度分轴电如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400
(399.
92)
1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 300
(299.
88)
1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 56
(55.9
4)
222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
另外，各速度分轴(高速·中速)的基板钳夹传的程序如下所示。
100ms
56
mm/s
56
S
TO
P
GX-4での変更
Center停止後、予備送りとB.U.テーブル上昇を同時に開始。
加速度を mm/s
2
( pps
2
)にする。
予備送り時の最高速度を mm/s ( pps)にする。
予備送り量は、20.0 + = mmとなる。
1008
4000
56 222
23.62 43.62
23.62
mm
B.U.Table Up. 600ms
400
mm/s
100ms
400ms
100ms
700 ms
20
mm
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动作说明书
3-2-2 ＢＵ机台
ＢＵ机台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
测换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出传的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而测化。
因此，有效行程也按下式测化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出传的待机高度也同视测化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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动作说明书
3-2-3 基板传送同传传传传
WAIT传感器
STOP传感器
C.OUT传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
100ms
100ms
600ms
400ms
预电传送
XY轴
向轴待机位置移动
強恬扮寂 430ms
(20mm) (23.3mm)
397ms 856ms
(79.36mm) (342.44mm)
1853ms
生产中
向生产开始位置移动
IN马达
上升 下降
向生产开始位置移动
上升
600ms
強恬扮寂 430ms
预电传送
100ms
400ms
100ms
(23.3mm)(20mm)
398ms
(81.8mm)
1054ms
(421.8mm)
1654ms
生产中
GX5 (Ver1.00)
STOP/C.OUT传感器电源ON稳定
后电板马达
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