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第 5 章 维护篇 5-1. 安全作业 和注意事项 4 • 检查中在未接通 电 源的状 态 下作 业时，请在电源 开关 前放置注意 标 示后， 进行检查作 业。
第 5 章 维护篇
5-1. 安全作业和注意事项
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在总空气供给状态下，请勿拔下空气导管类。
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两人以上作业时，请互相示意确认后操作。
第 5 章 维护篇
5-1. 安全作业和注意事项
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检查中在未接通电源的状态下作业时，请在电源开关前放置注意标示后，进行检查作业。
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2. 保养检查
5-2-1.
保养检查项目
对于长期每天进行正常生产活动、维持高品质来说，保养检查是必不可少的重要作业。除了每天检查本
机外，还应每 1 个月、每 6 个月为周期进行保养检查。
各周期的检查项目如下。
每天检查
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气压检查
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本机内部、钢网、刮刀检查
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系统软件起动检查
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工作台部检查
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基板搬送部确认
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清洁装置（选件）检查
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基板检测传感器的清扫
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紧急停止动作确认
有关详情，请参阅“5-2-2. 每天检查”。
每月检查
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信号塔检查
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刮刀头动作确认
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更换清洁装置（选件）真空过滤器
有关详情，请参阅“5-2-3. 每月检查”。
每半年检查
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滚珠丝杆、导杆加油润滑
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排出供气部的积水
有关详情，请参阅“5-2-4. 每半年检查”。