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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 10 导杆组件 请使用油枪,通 过油嘴向滑块 内部加油。并 擦掉出来的 旧润 滑油和 异 物。 (a) 油嘴 (b) 滑块 没有油嘴的导杆组件 请直接涂抹在轨 道上。  排出供气部的积水 请排出 过滤 器 减压 阀、油 雾 过滤器 内的 积 水。 打开过 滤 器下方的 排水 龙头 ,排出 积 水。

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5 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2-4.
每半年检查
每半年需进行以下检查。
滚珠丝杆、导杆加油润滑
请对各轴的滚珠丝杆、导杆装置加油润滑。加油后请进行演示运行。
注意
应当使用各部分适用的润滑油。
加油时请注意不要混入异物。
涂抹润滑油时,请擦掉旧滑油和异物后,再涂抹新润滑油。
推荐润滑油
涂抹部位
润滑油的型号
滚珠丝杆 Alvania S2
导杆组件 基板翘曲矫正级别调节 MULTEMP PS No.2
上述以外 Alvania EP2
滚珠丝杆
请直接在丝杆的转动面涂抹润滑油。
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5-2. 保养检查
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导杆组件
请使用油枪,通过油嘴向滑块内部加油。并擦掉出来的旧润滑油和物。
(a) 油嘴
(b) 滑块
没有油嘴的导杆组件
请直接涂抹在轨道上。
排出供气部的积水
请排出过滤减压阀、油过滤器内的水。打开过器下方的排水龙头,排出水。
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消耗品的更换和调整
有关保养零件,请咨询您购买产品的销售公司或本公司服务窗口。
更换输送带皮带
本机器将正时皮带用于基板搬送。
可动轨道 (a) 和基准轨道 (b) 的左右各有 2 根基板搬送皮带。此外,送左右驱动力的驱动传送皮
带位于中央。
(a) 可动轨道
(b) 基准轨道