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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 11 5 5-2-5. 消耗品的更换和调整 有关保养零件， 请咨 询您购 买产 品的销售公司或本 公司服务 窗口。 更换输送带皮带 本机器将正时皮 带用于基板搬 送。 可动轨道 (a) 和基准轨道 (b ) 的左右各有 2 根基板搬 送皮带。此外， 传 送左右 驱动力的 驱动传 送皮 带位于中央。 (a) 可动轨道 (b) 基准轨道
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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导杆组件
请使用油枪，通过油嘴向滑块内部加油。并擦掉出来的旧润滑油和异物。
(a) 油嘴
(b) 滑块
没有油嘴的导杆组件
请直接涂抹在轨道上。
排出供气部的积水
请排出过滤器减压阀、油雾过滤器内的积水。打开过滤器下方的排水龙头，排出积水。
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2-5.
消耗品的更换和调整
有关保养零件，请咨询您购买产品的销售公司或本公司服务窗口。
更换输送带皮带
本机器将正时皮带用于基板搬送。
可动轨道 (a) 和基准轨道 (b) 的左右各有 2 根基板搬送皮带。此外，传送左右驱动力的驱动传送皮
带位于中央。
(a) 可动轨道
(b) 基准轨道
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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更换基板搬送皮带
请松开要更换的基板搬送皮带的拉力皮带轮，然后更换皮带。请一边确认皮带拉力，一边调整拉力
皮带轮的位置，然后固定。
更换驱动传送皮带
请松开驱动传送皮带用的拉力皮带轮，然后取下皮带轮（用于驱动传送皮带，2 个）和驱动传送皮
带。更换皮带后，请将 2 个皮带轮按回原位，一边确认皮带拉力，一边调整拉力皮带轮的位置，然
后固定。
注意
•
已将输送带皮带更换为新品时，请务必在运行 3
小时后调整拉力，以调节初始的皮带
拉伸。如果不进行该操作，皮带容易脱落。
更换信号塔的 LED 装置
请在切断本机器电源后进行更换作业。
按照中央螺丝、摄像头外盖的顺序取下，更换每个 LED 装置。
(a) 中央螺丝
(b) 摄像头外盖
(c) LED 装置
(d) 机体
更换 UPS 电池
UPS 电池的使用寿命通常约为 3 年。更换电池时，请咨询您购买产品的销售公司或本公司服务窗口。