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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 6 5-2-2. 每天检查 每天开始运行时 ，请按照以下 项目顺序检查 。 1 确认高气压的工厂供给压力。 本机的设定为 0 .49MPa 。 2 打开正面盖子，确认以下项目。 － 本机内部是 否放置不需要 的物品 － 刮刀的 钢网接触部 是否 划伤 、变 形、磨损等异 常 － 确认钢 网两面是否 脏污、划伤、 变形等异常 3 接通电源，确认系统软件正常启动。 请确认未发 生伺服 异 常等 错误。…
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2. 保养检查
5-2-1.
保养检查项目
对于长期每天进行正常生产活动、维持高品质来说，保养检查是必不可少的重要作业。除了每天检查本
机外，还应每 1 个月、每 6 个月为周期进行保养检查。
各周期的检查项目如下。
每天检查
•
气压检查
•
本机内部、钢网、刮刀检查
•
系统软件起动检查
•
工作台部检查
•
基板搬送部确认
•
清洁装置（选件）检查
•
基板检测传感器的清扫
•
紧急停止动作确认
有关详情，请参阅“5-2-2. 每天检查”。
每月检查
•
信号塔检查
•
刮刀头动作确认
•
更换清洁装置（选件）真空过滤器
有关详情，请参阅“5-2-3. 每月检查”。
每半年检查
•
滚珠丝杆、导杆加油润滑
•
排出供气部的积水
有关详情，请参阅“5-2-4. 每半年检查”。
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2-2.
每天检查
每天开始运行时，请按照以下项目顺序检查。
1
确认高气压的工厂供给压力。
本机的设定为 0.49MPa。
2
打开正面盖子，确认以下项目。
－ 本机内部是否放置不需要的物品
－ 刮刀的钢网接触部是否划伤、变形、磨损等异常
－ 确认钢网两面是否脏污、划伤、变形等异常
3
接通电源，确认系统软件正常启动。
请确认未发生伺服异常等错误。
4
确认工作台部的顶板表面、吸附基座表面、吸附孔上没有划伤、附着物，如果有，请
清扫干净。
5
对于基板搬送部，确认以下项目。
－ 基板是否顺利地搬送到输送带，前后工序之间的基板转接是否存在问题
－ 输送带皮带无磨损、破损、拉伸、划伤等，以及是否在合适的拉力下使用
－ 皮带轮/电机的旋转是否异常
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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去除清洁装置（选件）的真空吸嘴及其周边粘着的锡膏，使用溶剂等进行清扫。
7
去除基板搬入侧、搬出侧的各基板检测传感器表面的灰尘及污垢。
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确认各轴是否有异音，同时确认紧急停止功能是否正常动作。
1 将运行模式设为［演示］，触摸共用面板的[START]开始演示运行。
2 确认各轴是否有异音。
3 按下本机正面左侧的紧急停止开关，确认以下动作。
－ 各轴是否停止
－ 触屏式监视器上是否显示已按下紧急停止的消息
4 确认完成后，顺时针旋转紧急停止开关以解除，进行画面右上角显示的 ［重置］。