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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 5 5 5-2. 保养检查 5-2-1. 保养检查项目 对于长期每天进 行正常生产活 动、维持高品 质来说 ，保养检查是 必不可少的重 要作业。除了每天 检查 本 机外， 还应每 1 个月、 每 6 个月为 周期进行保 养检查 。 各周期的检查项 目如下。 每天检查 • 气压检查 • 本机内部、钢网 、刮刀检查 • 系统软 件起动 检查 • 工作台部检查 • 基板搬送部确认 • 清洁 装置（ …
第 5 章 维护篇
5-1. 安全作业和注意事项
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•
检查中在未接通电源的状态下作业时，请在电源开关前放置注意标示后，进行检查作业。
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2. 保养检查
5-2-1.
保养检查项目
对于长期每天进行正常生产活动、维持高品质来说，保养检查是必不可少的重要作业。除了每天检查本
机外，还应每 1 个月、每 6 个月为周期进行保养检查。
各周期的检查项目如下。
每天检查
•
气压检查
•
本机内部、钢网、刮刀检查
•
系统软件起动检查
•
工作台部检查
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基板搬送部确认
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清洁装置（选件）检查
•
基板检测传感器的清扫
•
紧急停止动作确认
有关详情，请参阅“5-2-2. 每天检查”。
每月检查
•
信号塔检查
•
刮刀头动作确认
•
更换清洁装置（选件）真空过滤器
有关详情，请参阅“5-2-3. 每月检查”。
每半年检查
•
滚珠丝杆、导杆加油润滑
•
排出供气部的积水
有关详情，请参阅“5-2-4. 每半年检查”。
第 5 章 维护篇
5-2. 保养检查
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5-2-2.
每天检查
每天开始运行时，请按照以下项目顺序检查。
1
确认高气压的工厂供给压力。
本机的设定为 0.49MPa。
2
打开正面盖子，确认以下项目。
－ 本机内部是否放置不需要的物品
－ 刮刀的钢网接触部是否划伤、变形、磨损等异常
－ 确认钢网两面是否脏污、划伤、变形等异常
3
接通电源，确认系统软件正常启动。
请确认未发生伺服异常等错误。
4
确认工作台部的顶板表面、吸附基座表面、吸附孔上没有划伤、附着物，如果有，请
清扫干净。
5
对于基板搬送部，确认以下项目。
－ 基板是否顺利地搬送到输送带，前后工序之间的基板转接是否存在问题
－ 输送带皮带无磨损、破损、拉伸、划伤等，以及是否在合适的拉力下使用
－ 皮带轮/电机的旋转是否异常