YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第105页

2-4 2 코드 에 러 명칭과 내 용 Ea027 78 BN C노즐탈착에러 상태 노즐스테이션에서노즐의탈착에실패했 습니다 .헤드의진공 ( 부 압 ) 이샤프 트해방레벨보다낮아서 ,노즐의탈착을  확인할수없습니다 . 원인 1 .헤 드가노즐 을픽업할수없었 다  2.헤드가노즐 을픽업했으나 ,진공 ( 부 압 ) 이샤프 트해방레벨이하 대책 1 .노즐…

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2
1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다음과 같이 나타냅니다.
■ 헤드유닛
•
노즐관련
Ea00097
노즐인식에러
상태
화상인식한결과 ,부품전극부의휘도가부품식별휘도에달하지못합니다 .노즐을부품으로잘못인식하고있을가능성
이있습니다 .해당헤드의노즐을체크하고청소해주십시오 .
원인 부품전극부의휘도가부품식별휘도에도달하지못합니다 .노즐을부품으로오인식하고있을가능성이있습니다 .
대책 해당헤드의노즐을체크하고청소해주십시오 .부품데이터의부품식별휘도를조정해주십시오 .
Ea00204
노즐스테이션상태에러
상태 다음단계에서사용예정인노즐이노즐스테이션에없습니다 .노즐스테이션정보를확인해주십시오 .
원인 사용예정인노즐이노즐스테이션정보에설정되어있지않습니다 .
대책 노즐스테이션정보설정을확인해주십시오 .
Ea00864
인터록에러
상태
헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .Z 축이이동중이거나Z 축안전센서가OFF
로되어있습니다 .
헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 헤드가내려와있거나또는센서가고장입니다 .
대책 수동으로Z 축을올려주십시오 .
Ea00865
인터록에러
상태 노즐스테이션이하강단에없어서 ,X,Y 축의이동이불가능합니다 .
원인 노즐스테이션이상승되어있습니다 .노즐스테이션의하강단센서가반응하지않습니다 .
대책
수동모드로노즐스테이션을하강시킵니다 .노즐스테이션을내린상태에서I/O 모니터를확인해서 ,센서가반응하지않으
면센서를교환해주십시오 .
Ea00880
I/O 시퀀스부품장착시진공압체크에러
상태
부품장착시에부압이충분하게내려가지않습니다 .부품을픽업한상태로돌아갔을가능성이있으므로 ,즉시
노즐과밸브등을확인하여주십시오 .이런상태로자동운전을계속하면 ,부품을흡착한상태로복귀하거나2 중탑재등
의트러블을일으킬가능성이있습니다 .
원인 부품장착시에부압이충분히내려가지않았습니다 .부품을흡착한상태로복귀했을가능성이있습니다 .
대책 ［장치］ → 「헤드」 탭을열어서 ,즉시노즐이나밸브등을확인해주십시오 .
Ea02652
인터록에러
상태 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .
대책 헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .하강단센서를겸비한장비는헤드하강단센서의상태를확인해주십시오 .
Ea02653
인터록에러
상태 헤드의높이가위험한위치에있습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 원점복귀직후의헤드높이가위험한위치에있습니다 .
대책 헤드의Z 축현재위치가위험한높이에있지않은지확인해주십시오 .
2-4
2
코드 에러 명칭과 내용
Ea02778
BNC노즐탈착에러
상태
노즐스테이션에서노즐의탈착에실패했습니다 .헤드의진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다낮아서 ,노즐의탈착을
확인할수없습니다 .
원인
1.헤드가노즐을픽업할수없었다
2.헤드가노즐을픽업했으나 ,진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨이하
대책
1.노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등을재조정해주십시오 .
2.[ 장비설정 ]-[ 장비데이터 ]-[ 헤드 ]-[ 흡장착레벨 ]-[ 샤프트해방레벨 ] 을재조정해주십시오 .
Ea02779
BNC 노즐수납에러
상태
노즐스테이션으로의노즐수납에실패했습니다 .
헤드의진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다높아서 ,노즐의수납을확인할수없습니다 .
원인
1.헤드가노즐을수납할수없었다
2.헤드가노즐을수납했으나 ,진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다높다
대책
1.노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등을재조정해주십시오 .
2.[ 장비설정 ]-[ 장비데이터 ]-[ 헤드 ]-[ 흡장착레벨 ]-[ 샤프트해방레벨 ] 을재조정해주십시오 .
Ea02906
노즐체인지상태에러
상태
현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .
1노즐스테이션의센서상태
원인 현재장착되어있는ANC 노즐을특정할수없습니다 .
대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .
Ea07563
샤프트청소블로우노즐방치에러
상태 샤프트청소블로우도중에노즐이빠졌을가능성이있습니다 .
원인 헤드로노즐을검출할수없게되었다 .
대책
해당테이블의각헤드로 ,다음을확인해주십시오 .
•
블로우유닛에노즐이방치되어있지않는가
•
헤드로부터노즐이빠져서 ,장비에떨어져있지않는가
•
헤드로부터노즐이빠질려고하지않는가
Ea29528
인터록에러
상태 스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .
원인 헤드가스캔카메라와간섭하는높이까지내려와있어서 ,스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .
대책 리셋하고작업을재실행해주십시오 .
2-5
2
■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00070
기판반송에러
상태 컨베이어상에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .
원인
1.규정수량을넘는기판이반입되었다 .
2.I/O 기판또는센서의고장
대책
1.반입한기판을제거해주십시오 .
2.컨베이어모니터 ,I/O 모니터에서센서의반응상태를확인해주십시오 .
Ea00851
인터록에러
상태 기판반송기의하강단센서가OFF 되어있습니다 .원인을제거해주십시오 .
원인 기판반송기가하강된상태로되어있거나 ,또는센서에러일가능성이있습니다 .
대책 기판반송기의상태 ( 상하 ) 를확인해주십시오 .
Ea02204
기판반송에러[ 반입처리시간초과 ]
상태 반입해야할기판을견실했습니다 .
원인 상류측컨베이어와의연결부분 ,또는본체컨베이어입구부근에기판이있을가능성이있습니다 .
대책 정상위치에기판을세팅하고복구하여주십시오 .
Ea07319
입구위치의기판제거
상태 컨베이어의입구센서가반응하고있습니다 .
원인 입구위치에서불명한기판을검출했습니다 .
대책 기판을제거하고 ,운전을재개해주십시오 .
Ea07876
명령실행불능
상태 서보푸쉬업이충분히하강되어있지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .
원인 서보푸쉬업이충분히하강되어있지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .
대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시킨후 ,다시명령을실행하여주십시오 .
Ea29701
푸쉬업플레이트핀검지인터록
상태 푸쉬업핀을검지했습니다 .
원인 푸쉬업플레이트의AT 축동작범위내에푸쉬업핀을검지했습니다 .
대책 푸쉬업플레이트상의불필요한푸쉬업핀등을제거해주십시오 .
Ea29717
Ea29718
Ea29719
Ea29720
푸쉬업핀인터록에러
상태
스테이지
✽
의컨베이어레일과푸쉬업핀이간섭했습니다 .
(
✽
에는해당하는스테이지번호가표시됩니다 .)
원인 푸쉬업플레이트상의푸쉬업핀의위치가부적절해서 ,푸쉬업축을상승시킬수가없습니다 .
대책 푸쉬업핀을제거하고 ,컨베이어레일을확인해주십시오 .