YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第198页

3-14 3 1 . 6.2 기 판 누 름 플레이트의 위치 조 정 1 기판을 반입합니다 . 1 . YSM20R 싱 글레 인 / YSM20 WR 듀얼 레 인 사양은 「장치」- [ 기판반입 ] 버 튼을 누 르고 , YSM2 0R 듀 얼 스테 이 지 사양 은 「장치 」- [ 기 판 반송 ] 버 튼을 누릅니 다 . 참고 YSM 20 R 듀 얼 스 테 이 지 사 양은 「 기 판 반송 」 화 면 이 표 …

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YSM20WR 듀얼레인에 푸쉬업 핀을 배치할 경우의점
듀얼 레인에서 푸쉬업 핀은 , 푸쉬업 플레이트와의 간섭을 지하특수한 상으로 되어 있습 .
그러므로 기판 아20mm 이상의 부품이 푸시플레트의 단차가 부품과 가능성이 있으므로 필요
니다 .
레인 2
푸쉬업 핀
듀얼레인의 배치
레인 1
듀얼 레인 전용 푸시 업 핀
23.7mm
41mm
76mm
표준 푸시업 핀
27306-KMK-00
c
주의
다른기계 ( 예를들어YS 시리즈및YSM20R ) 의표준푸시업핀을듀얼레인사양의기계에사지마십시오 .
5
비상정지를 제합니다 .
1. 양의 우는 , 장착합니 .
2. 장비안전커 , 상정해제합니 .
6
장비를 리셋합니다 .
오퍼이터 널의「RESET버튼눌러 , 장비리셋합니 .
n
요점
「RESET튼을 누 , 푸쉬업 플레트가 하강하 , 컨가 반송위로 이합니.
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1.6.2 기플레이트의 위치
1
기판을 반입합니다 .
1. YSM20R 글레 /YSM20WR 듀얼사양은 「장치」-[ 기판반입 ] 튼을 누르고 , YSM20R
스테사양「장치」-[ 반송 ] 튼을 누릅니 .
참고
YSM20R 듀얼 스지 사양은반송이 표므로 ,든 위에 체크되어 있지 확인고 [OK] 튼을 누.
2. 「기판반지가 표시되면 , 장비의 컨베기판을 합니 .
3. , [OK] 튼을 르면 , 기판을 반입하장위에서 합니 .
참고
YSM20R 듀얼 스지 사의 경우는 , 상류측 스의 실서 기판을 고.
기판의 반입/반송
[장치] - 「컨베이어」 화면
[기판반송] 버튼
기판을 세팅하고 [OK] 버튼을 누른다
「모든 위치」 에 체크
싱글레인 사양
듀얼 스테이지 사양
[기판반입] 버튼
28 326 - K MK-0 0
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2
클램ASSY 강시킵니다 .
[ ]-「컨에서 , [ 클램 ] 튼을 눌러클램보드 ASSY 주십시 .
참고
얼 스지 사의 경우는, 스 1과 스 2 중서 해당하는 스의 [ 판 클램 ] 튼을 누.
클램프 보드 ASSY의 하강
[장치] - 「컨베이어」 화면
[기판 클램프] 버튼
싱글레인 사양
듀얼 스테이지 사양
[기판 클램프] 버튼
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