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2-39 2 3 .1 2 노즐 헬스 점 검 이 화 면 은 , 「 장 비 설 정 」→ 「 장 비 정 보 」→ 「공 장 설 정 」 의 「 노 즐 헬 스 점 검 」 이 「유 효 」 로 되 어 있 을 경 우에 표 시 됩 니 다 . 노 즐 헬 스 점 검 기 능 은 , 전 술 의 「 3 .11 스 케줄 태 스 크」 에 서 개 별 로 실 시 한 노 즐 의 「진 공 압 체 크 」, 「노 즐 선 단 오 염 …
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3.11 스케줄 태스크
이 화면은 ,「진공압 체크」,「노즐선단 오염체크」 등의 스케줄 태스크를 실행한 결과를 표시합니다.
표시 내용은 각 스케줄 태스크 완료후에 갱신되며, 이력에 헤드별 에러 정보와, 실행한 결과 정보가 기록됩니다.
모니터 : 스케줄 태스크
실행결과 일람
페이지 수 표시
수동조작 버튼
화살표
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•
체크내용
풀다운 리스트에서「진공압 체크」,「노즐선단 오염체크」,「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」,「노즐 형상체크」,「노즐편심
이상체크」등을 선택해서 전환할 수 있습니다 .
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스케줄최종실행시간
스케줄 태스크가 실행된 최종 일시를 표시합니다 .
•
실행결과일람
각 스케줄 태스크의 실행 결과가 표시됩니다 .
•
OK : 스케줄 태스크 정상종료
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NG : 스케줄 태스크 이상종료
•
[ ] : 스케줄 태스크 미실시
참고
일람표에는 , A~D 테이블의 표시가 있습니다만 , 본 장비에서는 A 테이블과 B 테이블의 수치만 표시됩니다 .
•
노즐타입
스캐줄 태스크를 실행한 노즐의 종류를 표시합니다 .
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화살표
노즐타입의 표시를 전환합니다 .
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페이지표시
현재 페이지와 최대 페이지 수를 표시합니다 . 1 페이지밖에 없을 경우는 , 표시되지 않습니다 .
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수동조작버튼
수동으로「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」,「노즐선단 오염체크」,「진공압 체크」,「노즐탄성 이상체크」,「노즐 형상체크」,
「노즐편심 이상체크」의 스케줄 태스크를 실행할 수가 있습니다 .
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3.12 노즐 헬스점검
이 화면은 ,「장비설정」→「장비정보」→「공장설정」의「노즐 헬스점검」이「유효」로 되어 있을 경우에 표시됩니다.
노즐 헬스점검 기능은 , 전술의「3.11 스케줄 태스크」에서 개별로 실시한 노즐의「진공압 체크」,「노즐선단 오염
체크」,「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」등의 상태 체크를 한꺼번에 실시해서, 그 검진 결과를 확인할 수가 있습
니다 .
노즐 헬스점검 항목은, 1. 진공압 체크→ 2. 선단오염 체크→ 3. 탄성 이상체크→ 4. 형상체크→ 5. 편심이상
체크의 순으로 실행되며 , 순서대로 체크를 실행해서「NG」가 발생한 노즐은 남아있는 그 이후의 다른 체크는
실행하지 않습니다.
모니터 : 노즐 헬스점검
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[ 헬스점검 ] 버튼
이 버튼을 누르면, [ 노즐 헬스점검 ] 화면이 표시됩니다. 대상 테이블 (본 장비에서는, A 테이블 ) 과 대상 범위를 설정하고 ,
[OK] 버튼을 누르면 노즐 헬스점검이 실행됩니다 .
또한 , 대상 범위는「ALL( 모든 노즐을 대상 )」,「기판데이터 사용 ( 기판 데이터에서 사용설정되어 있는 노즐 )」,
「NG( 한 번 헬스 점검을 실행해서 NG 된 노즐 )」중에서 선택합니다 .
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체크결과표시범위
노즐 헬스점검의 결과표시 범위를 지정합니다 .
「ALL」,「기판데이터 사용」,「NG」중에서 선택해서 표시시킵니다 .
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결과
노즐 헬스점검을 실행한 결과를 표시합니다 . 결과가「NG」일 경우는 , 해당 행이 빨간색으로 표시됩니다 .
또한 , 체크 항목의 1~5 중에서 한 항목이라도 NG 일 경우 ,「결과」는「NG」가 됩니다 .
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테이블
대상 테이블을 표시합니다 . 본 장비에서는 , A 테이블이 표시됩니다 .
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헤드
사용하고 있는 헤드 번호를 표시합니다 .
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노즐타입
노즐의 종류를 표시합니다 .
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노즐 St. 번호
그 노즐의 노즐 스테이션으로의 수납 위치를 표시합니다 .
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진공압체크 ,선단오염체크 ,탄성이상체크 ,형상체크 ,편심이상체크
각각의 스케줄 태스크의 결과를 표시합니다 .
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[ 진단결과 ] 버튼
결과가 NG 된 항목이 있으면 , 이 버튼이 활성화됩니다 .
「NG」된 항목을 선택해서 , [ 진단결과 ] 버튼을 누르면 , NG 된 항목의 상세한 내용을 확인할 수가 있습니다 .
참고
「셋업」화면의 [Appl. 설정 ]-「기본」-[ 헬스점검 ]-「노즐 헬스점검」화면에서「NG 화상을 저장한다」에 체크되어 있을 경우에는 ,
선단오염 체크 , 형상체크 , 편심이상 체크에서 NG 가 나면 , 그 노즐의 화상 ( 이미지 ) 이 표시됩니다.
참고
「셋업」화면의 [Appl. 설정 ]-「기본」-[ 헬스점검 ]-「노즐 헬스점검」화면에서「이상 검출시에는 , 운전을 시작 안한다」에 체크하면 ,
운전 시작시에 NG 노즐을 생산에서 사용하지 않도록 에러가 표시됩니다.
여기에 체크되어 있을 경우는, 이상 노즐을 청소하거나 교환한 후에 재차, 노즐 헬스점검을 실시할 필요가 있습니다 .
「노즐 헬스점검」설정화면
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